|
| Nama merek: | ROYAL |
| Nomor Model: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 set |
| harga: | dapat dinegosiasikan |
| Ketentuan Pembayaran: | L/C, T/T |
| Kemampuan Penyediaan: | 10 set per bulan |
Magnetron Sputtering banyak digunakan untuk menanamkan logam tahan api seperti tantalum, titanium, tungsten,Niobium, yang membutuhkan suhu deposisi yang sangat tinggi, dan logam mulia: Emas dan Perak dan yang juga digunakan untuk deposit logam titik leleh yang lebih rendah seperti tembaga, aluminium, nikel, krom dll.
Tantalum paling banyak digunakan dalam elektronikindustrisebagai lapisan pelindung karena ketahanannya yang baik terhadap erosi.
Aplikasi dari Sputtered Tantalum thin film:
1Industri mikroelektronika karena film dapat secara reaktif disemprotkan dan dengan demikian resistivitas dan koefisien suhu resistensi dapat dikendalikan;
5Industri semikonduktor, chip mikroelektronik
Keuntungan Teknis
Royal Technology's standar Tantalum sputtering sistem deposisi: RTSP1000
| Konfigurasi Utama | |
| Model | RTSP1200 |
| TEKNOLOGI |
Pulsed DC magnetron sputtering Catodic arc plating (untuk pilihan, ditentukan oleh proses pelapisan), sumber sinar ion |
| Bahan kamar | Baja tahan karat (S304) |
| Ukuran Kamar | Φ1200*1300mm (H) |
| Tipe kamar | Bentuk D, ruang silinder |
| RAK ROTASI & JIG SYSTEM | Sistem pengemudi satelit atau sistem pengemudi pusat |
| Sumber Daya Listrik |
DC Sputtering Power Supply: 2 ~ 4 set Sumber Ion: 1 set |
| Materi Deposisi | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu dll. |
| Sumber Deposisi | Katode Sputtering Planar + katode busur melingkar |
| Pengendalian | PLC ((Programmable Logic Controller) + IPC (manual + otomatis + model operasi semi-otomatis) |
| Sistem pompa | Pompa Vane Rotary: SV300B 1 set (Leybold) |
| Pump Akar: WAU1001 1 set (Leybold) | |
| Pompa pemegang: D60C 1 set (Leybold) | |
| Pompa Molekuler Suspensi Magnetik: MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
| Pengontrol Aliran Massa Gas | 2 saluran: Ar dan N2 |
| VACUUM GAGE | Inficon atau Leybold |
| Sistem Keamanan | Banyak penguncian keamanan untuk melindungi operator dan peralatan |
| Pemanasan | Pemanas: 20KW. Max. temp.: 450°C |
| COOLING | Industrial Chiller (Air Dingin) |
| Power Max. | 100KW (sekitar.) |
| Rata-rata konsumsi daya | 45 KW (sekitar.) |
| Berat Bruto | T (sekitar.) |
| TEMPAT kaki | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Kekuatan listrik |
AC 380V / 3 fase / 50HZ / 5 garis |
Silakan hubungi kami untuk aplikasi dan spesifikasi lebih lanjut.
