DPC Pelapisan Tembaga Langsung Pada Keramik Papan Sirkuit Al2O3 / AlN Mesin Deposisi Tembaga

Pencahayaan Kecerahan DPC Cincin perhiasan keramik Lapisan Vakum, Papan Sirkuit Al2O3 / AlN Pelapisan Tembaga PVD

Pertunjukan

1. Tekanan Vakum Utama: lebih baik dari 5.0 × 10^-6 Tor.

2. Tekanan Vakum Operasi: 1,0 × 10^-4 Tor.

3. Waktu Pemompaan: dari 1 atm hingga 1,0 × 10^-4 Torr≤ 3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Material metalizing (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr dll.

5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis/Semi-Otomatis/Manual

Struktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem kunci lengkap yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum

2. Sistem Pemompaan Vakum Rouhging (Paket Pompa Pendukung)

3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi (Pompa Molekul Suspensi Magnetik)

4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi

5. Sistem Fasilitas Bantu (Sub Sistem)

6. Sistem Deposisi

Fitur Utama Mesin Pelapis Tembaga Sputtering

1. Dilengkapi dengan 8 steer arc cathodes dan DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, unit sumber Ion.

2. Tersedia lapisan multilayer dan co-deposition

3. Sumber ion untuk pra-perawatan pembersihan plasma dan deposisi dengan bantuan sinar ion untuk meningkatkan daya rekat film.

4. Unit pemanas substrat Keramik/Al2O3/AlN;

5. Sistem rotasi dan revolusi substrat, untuk pelapisan 1 sisi dan pelapisan 2 sisi.

Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant pada Substrat Memancar Keramik

Proses DPC- Direct Plating Copper adalah teknologi pelapisan canggih yang diterapkan pada industri LED / semikonduktor / elektronik.Salah satu aplikasi tipikal adalah Ceramic Radiating Substrate.

Deposisi film konduktif Cooper pada substrat Al2O3, AlN dengan teknologi sputtering vakum PVD, dibandingkan dengan metode manufaktur tradisional: DBC LTCC HTCC, biaya produksi yang jauh lebih rendah adalah fitur tingginya.

Tim teknologi kerajaan membantu pelanggan kami untuk berhasil mengembangkan proses DPC dengan teknologi sputtering PVD.

Mesin RTAC1215-SP dirancang khusus untuk lapisan film konduktif Tembaga pada chip Keramik, papan sirkuit keramik.

Bagaimana Cara Kerja Pelapisan PVD?

Logam padat diuapkan atau diionisasi dalam lingkungan vakum tinggi dan diendapkan pada bahan konduktif elektrik sebagai logam murni atau film paduan logam.Ketika gas reaktif, seperti nitrogen, oksigen atau gas berbasis hidrokarbon dimasukkan ke dalam uap logam, itu menciptakan lapisan nitrida, oksida, atau karbida sebagai aliran uap logam, secara kimia bereaksi dengan gas.Pelapisan PVD harus dilakukan di ruang reaksi khusus sehingga bahan yang diuapkan tidak bereaksi dengan kontaminan apa pun yang seharusnya ada di dalam ruangan.

Selama proses pelapisan PVD, parameter proses dimonitor dan dikontrol secara ketat sehingga kekerasan film yang dihasilkan, adhesi, ketahanan kimia, struktur film, dan sifat lainnya dapat diulang untuk setiap proses.Berbagai lapisan PVD digunakan untuk meningkatkan ketahanan aus, mengurangi gesekan, meningkatkan penampilan, dan mencapai peningkatan kinerja lainnya.

Untuk menyimpan bahan dengan kemurnian tinggi seperti titanium, kromium, atau zirkonium, perak, emas, aluminium, tembaga, baja tahan karat, proses fisik pelapisan PVD menggunakan salah satu dari beberapa metode pelapisan PVD yang berbeda, termasuk:

Penguapan busur

Penguapan termal

DC/MF sputtering (pengeboman ion)

Deposisi Berkas Ion

Pelapisan ion

Sputtering yang ditingkatkan

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.