Mesin Pelapisan Sputtering Magnetron PVD
1. Magnetron sputtering adalah proses pelapisan plasma dimana dengan tergagapmaterial dikeluarkan karena pemboman ion ke permukaan target.Ruang vakum mesin pelapis PVD diisi dengan gas inert, seperti argon.
2. Peralatan Pelapis Magnetron Sputtering- tipe batch berisi komponen kunci berikut:
Magnetron Sputtering Cathode: Tipe Silinder atau Planar;
Catu Daya: Pulsa DC, MF, RF
Sumber ion: umumnya untuk bagian plastik/kaca/keramik/logam untuk pemakaian cahaya, pembersihan plasma.
Catu Daya Bias: hanya bekerja pada benda kerja konduktif: baja, besi, baja paduan, zamak, paduan aluminium, kuningan dll.
Paket Pompa Vakum: Pompa Rotary Vane, Pompa Rotary Piston, Pompa Roots, pompa difusi / pompa molekul turbo, pompa penahan dll.
Lainnya: Gerbang vales/pengukur vakum, MFC, fitting vakum dan saluran pipa vakum, feed through,
3. RTSP peralatan pelapis seri digunakan untuk produksi pelapis fungsional konduktif, non-konduktif, tujuan estetika.
A. Aplikasi: Pelapis ITO pada kaca untuk layar sentuh, tampilan;kaca arsitektur;industri otomotif: velg & velg mobil, spion mobil, lampu depan, lampu belakang, interior & eksterior plastik;peralatan makan & dapur, perhiasan, olahraga dan mainan, pengganti pelapisan air.
B. Bahan pelapis:
Logam: Ti (Titanium), Cr Chromium), Zr (Zirkonium), Cu (Tembaga), Al (Aluminium), Ni (Nikel),
SUS316 (Baja tahan karat) ...
Paduan Logam: Paduan Ti-Al, paduan Ni-Ca (Nikel - Kadmium), ITO (Indium Tin Oxide)
C. Metode sputtering: DC/MF/RF
D. Fitur: deposisi suhu rendah
4. Model Mesin Pelapis Magnetron Sputtering
Model | Ukuran (mm) | Jumlah Batang Planet | Daya Sputtering (kVA) | Katoda Sputtering (Jumlah) | Teknologi Magnetron Sputtering | MFC | Komentar |
RTSP-1250 | 1250xH1250 | 6 | 2*30 DC/MF | 2 | Seimbang, Tidak Seimbang | 1 sampai 4 | Lapisan dekorasi berkualitas tinggi |
RTSP-1400 | 1400xH1250 | 6, 8 | 2*36 DC/MF | 2 | |||
RTSP-1600 | 1600xH1250 | 6,8,12 | 2*48 DC/MF | 2 | |||
Aplikasi Industri Eksklusif
|
|||||||
RTSP-900 | 900xH900 | 1 | 1*12 DC | 1 | Target Planar | 1 sampai 4 | Pelek otomotif, trim interior & eksterior |
RTSP-1315 | 1300xH1500 | 1 | 1*48 DC | 1 | Target Planar | ||
RTSP-1618 | 1600xH1800 | 2 | 2*72 DC | 2 | Target Planar | ||
RTSP-800 | 800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | Silinder atau Planar | ITO, AR | |
RTSP-1616 | 1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | Target Planar | 2 pintu |
5. Mesin Pelapis Magnetron Sputtering
Waktu Pembuatan: 2016
lokasi: Cina
Industri: Lapisan film konduktif Cu pada lembaran keramik
6. Sampel Lapisan Sputtering Perak
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.