Kata kunci: Produk Aluminium Berlapis Langsung, proses PECVD, film DLC, Film Carbon Like Carbon, film Optik Sputtering, Gencoa Magnetron Sputtering Cathode, Sumber Ion, PA PVD
Fitur Desain RTAC950-SP:
Spesifikasi teknis
1. Tekanan Vakum Tertinggi: lebih baik dari 8.0 * 10 - 4 Pa;
3. Memompa Waktu: dari atm ke 1,0 × 10 - 3 Pa≤15 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)
4. Sumber pengendapan: Gencoa magnetron sputtering cathode, steode arc steode, sumber Ion
5. Model Pengoperasian: Penuh Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual
6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks. 500 ℃,
9. Sumber ion untuk proses PECVD dan PA PVD.
Mesin pelapis vakum berisi sistem lengkap kunci yang tercantum di bawah ini:
1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Inner Depth 950mm
Tinggi Batin: 1350mm
1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304
Pintu dan flensa SUS304
Struktur penguatan ruang: baja ringan SS41, dengan perawatan permukaan akhir dicat.
Ruang sasis baja ringan SS41 dengan perawatan permukaan akhir dicat.
1.3 Chamber Shield: SUS304
1.4 Jendela Lihat: di pintu kamar -2
1.5 Vacuum Chamber Venting Valve (termasuk peredam)
1.6 Pintu: 2 set, depan dan belakang, bahan SUS304
2. Sistem Pemompaan Vakum Roughing:
Pompa vakum baling-baling putar minyak + Pompa Holding
3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi:
Turbo Molecular Pump - 2 set
4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi- PLC + Sistem Operasi Layar Sentuh:
Pemasok:
PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERIES
Komponen Elektronik: SCHNEIDER, OMRON.
Sistem Proteksi Keselamatan: Sejumlah kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan (air, gas saat ini, suhu dll.)
Sistem Proses Pelapisan : Otomatisasi & Kontrol Proses. Secara otomatis disimpan dalam memori selama 3 bulan. Data resep pelapisan unggulan: arus / voltase operasi target, Mass Flow, Tekanan vakum, suhu, waktu pelapisan disimpan untuk analisis guna meningkatkan kualitas pelapis.
4.1 Sirkuit utama: Sakelar pemutus sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri
4.2 Power Supply: Daya sputtering MF + daya Arc DC + Power Supply Bias
4.3 Sistem kontrol pengendapan
4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, shutdown otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis
4.5 Sistem Pengukuran
Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Pengukur pengukur + Pengukur vakum lengkap - merek Eropa
Alat pengukur suhu: Termokopel
MFC: Mass Flow Controller (4 cara),
4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, Aliran air pendingin, Mis-operation
4.7 Indikator Beban Daya: Indikator tegangan dan indikator arus beban
5 . Sistem pengendapan
5.1 Sumber pengendapan: Katup sputtering + Sumber busur + Sumber Ion
5.2 Bahan pengendapan: ITO, Titanium, Chrome, Aluminium, Stainless Steel, TiAl dll.
6. Sub-Sistem
6.1 Sistem Kontrol Katup Udara Terkompresi
6.2 Sistem Air Pendingin: Sistem pipa aliran air dan sakelar sakelar
7. Lingkungan Kerja
Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2
Air Pendingin: Suhu Air-Dalam: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / mnt,
Tekanan Air-Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,
Power: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, konsumsi daya rata-rata: 60KW
Area Instalasi: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.