Sistem Deposisi Tembaga Sputtering Keripik AlN, Mesin Sputtering Tembaga Aluminium Nitrida PVD

Performa

1. Tekanan Vakum Tertinggi: lebih baik dari 5.0 × 10^-6 Torr.

2. Operasi Tekanan Vakum: 1.0 × 10^-4 Torr.

3. Waktu Pumpingdown: dari 1 atm hingga 1.0 × 10^-4 Torr≤ 3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Material metalisasi (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr dll.

5. Model Operasi: Otomatis Penuh / Semi-Otomatis / Manual

Struktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem lengkap kunci yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum

2. Sistem Pompa Vakum Rouhging (Paket Pompa Pendukung)

3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi (Pompa Molekuler Suspensi Magnet)

4. Sistem Pengendalian dan Operasi Listrik

5. Sistem Fasilitas Pembantu (Sub Sistem)

6. Sistem Deposisi

Fitur Utama Mesin Pelapis Tembaga Sputtering

1. Dilengkapi dengan 8 katoda busur kemudi dan Katoda Sputtering DC, Katoda Sputtering MF, unit sumber Ion.

2. Tersedia lapisan multilayer dan co-deposisi

3. Sumber ion untuk pembersihan plasma pra-perawatan dan deposisi bantuan berkas ion untuk meningkatkan adhesi film.

4. Unit pemanas substrat keramik / Al2O3 / AlN;

5. Sistem putaran dan putaran substrat, untuk lapisan 1 sisi dan lapisan 2 sisi.

Pabrik Cooper Magnetron Sputtering Coating pada Substrat Radiasi Keramik

Proses DPC- Direct Plating Copper adalah teknologi pelapisan canggih yang diterapkan dengan industri LED / semikonduktor / elektronik.Salah satu aplikasi tipikal adalah Ceramic Radiating Substrate.

Deposisi film konduktif Cooper pada substrat Al2O3, AlN dengan teknologi sputtering vakum PVD, dibandingkan dengan metode manufaktur tradisional: DBC LTCC HTCC, biaya produksi yang jauh lebih rendah adalah fiturnya yang tinggi.

Tim teknologi Royal membantu pelanggan kami untuk mengembangkan proses DPC dengan sukses dengan teknologi sputtering PVD.

Mesin RTAC1215-SP dirancang khusus untuk lapisan film konduktif Tembaga pada chip Keramik, papan sirkuit keramik.

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.