![]() |
Nama merek: | ROYAL |
Nomor Model: | RTAS1215 |
MOQ: | 1 Set |
harga: | dapat dinegosiasikan |
Ketentuan Pembayaran: | L / C, D / A, D / P, T / T |
Kemampuan Penyediaan: | 6 set per bulan |
AlN Chips Tembaga Sputtering Deposisi Sistem, Aluminium Nitride PVD Tembaga Sputtering Mesin
Kinerja
1. Tekanan vakum akhir: lebih baik dari 5,0 × 10-6Torr.
2Tekanan vakum operasi: 1,0×10-4Torr.
3. Waktu pemompaan: dari 1 atm sampai 1,0×10-4Torr≤ 3 menit (suhu kamar, kamar kering, bersih dan kosong)
4Bahan Metalis (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr dll.
5. Model Operasi: penuh Otomatis / Semi-Otomatis / Manual
Struktur
Mesin lapisan vakum berisi sistem kunci lengkap yang tercantum di bawah ini:
1Kamar vakum.
2. Sistem Pompa vakum kasar (Paket Pompa Kembali)
3. Sistem Pompa Vakum Tinggi (Pompa Molekuler Suspensi Magnetik)
4. Sistem Kontrol dan Operasi Listrik
5Sistem Fasilitas Bantuan (Sub Sistem)
6. Sistem Deposisi
Mesin Lapisan Sputtering Tembaga
1Dilengkapi dengan 8 steer arc cathodes dan DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, unit sumber ion.
2. multilayer dan co-deposition coating tersedia
3. Sumber ion untuk pra-pengolahan pembersihan plasma dan ion-beam dibantu deposisi untuk meningkatkan adhesi film.
4. Keramik/ Al2O3/AlN substrat unit pemanasan;
5Sistem rotasi dan revolusi substrat, untuk lapisan satu sisi dan lapisan dua sisi.
Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant pada Substrat Ceramic Radiating
Proses DPC- Direct Plating Copper adalah teknologi pelapis canggih yang diterapkan dengan industri LED / semikonduktor / elektronik.
Deposisi film konduktif koper pada substrat Al2O3, AlN dengan teknologi penyemprotan vakum PVD, dibandingkan dengan metode manufaktur tradisional: DBC LTCC HTCC,biaya produksi yang jauh lebih rendah adalah fitur yang tinggi.
Tim teknologi Royal membantu pelanggan kami mengembangkan proses DPC dengan sukses dengan teknologi penyemprotan PVD.
Mesin RTAC1215-SP dirancang secara eksklusif untuk Lapisan film konduktif Tembaga pada chip Keramik, papan sirkuit keramik.
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk menyediakan solusi pelapis lengkap.