|
| Nama merek: | ROYAL |
| Nomor Model: | RTAC |
| MOQ: | 1 Set |
| harga: | dapat dinegosiasikan |
| Ketentuan Pembayaran: | L/C, T/T |
| Kemampuan Penyediaan: | 12 set per bulan |
| MODEL | RTAC1618 | ||
| BAHAN | Baja Tahan Karat (S304) | ||
| UKURAN CHAMBER | Φ1600 * 1800mm (H) | ||
| SISTEM POMPA | Rotary Piston Vacuum Pump (Mekanik) | ||
| Pompa Vakum Rotary Vane (Memegang) | |||
| Pompa Vakum Akar | |||
| Pompa Difusi | |||
| TEKNOLOGI | Pelapisan Ion (Sumber multi-busur) | ||
| SASARAN KHAS | Chrome, Titanium, Zirkonium, TiAl | ||
| GAS | Pengukur Aliran Massa Gas (Ar, N2,) Argon, Nitrogen | ||
| KONTROL | PLC (Programmable Logic Controller) | ||
| SISTEM KESELAMATAN | Sejumlah kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan | ||
| PENDINGINAN | Air Pendinginan Recyle | ||
| PEMANASAN | Pemanas, hingga 300 ℃ | ||
| POWER MAX. | 150KW (Perkiraan) | ||
| KONSUMSI DAYA RATA-RATA | 70KW (Perkiraan) | ||
Keramik Dinding PVD Coating Equipment mengambil teknologi pelapisan ion untuk menguapkan logam solide seperti Titanium, Chrome oleh sumber busur katodik dan memadatkan logam terionisasi pada permukaan produk untuk menghasilkan film tipis Nano di lingkungan vakum tinggi. Dengan gas reaktif seperti: Nitrogen menghasilkan berbagai warna.
Peralatan pelapis dinding PVD keramik:
1. Ruang vakum vertikal satu pintu terbuka, 304 stainless steel memproduksi, ruang vakum diameter internal dari φ1400mm-Φ2000mm;
2. Sistem vakum dengan pompa baling-baling Rotary, pompa Roots dan Pompa Difusi Minyak atau Konstitusi Pompa Molekul;
3. Sistem pelapisan menggunakan 1-2 magnetisme frekuensi menengah untuk mengontrol sumber daya sputtering, memiliki 1-2 pasang magnet tidak seimbang untuk mengendalikan target, dan memiliki 14-40 sumber busur.
4. Efisiensi tinggi sumber daya pulsa bias;
5. Sistem gasifikasi menggunakan flowmeter massa gas yang diproduksi di dalam negeri atau impor, meteran kontrol jumlah aliran (demonstrasi) gas;
6. Pembentukan sistem yang dikendalikan secara listrik sirkuit listrik kelebihan beban, memotong pasokan air, meninggal perangkat alarm acousto-optik;
7. Sistem kontrol (layar sentuh + PLC), parameter detail tampilan waktu nyata, kontrol otomatis seluruh proses produksi, dan parameter teknologi memori otomatis.
Ukuran alat berat lain yang disesuaikan tersedia berdasarkan dimensi produk dan permintaan kapasitas yang ditentukan.
Model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Ukuran ruang dalam | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Jenis catu daya | Catu daya busur, catu daya filamen, catu daya pulsa bias | ||||||||||
| Struktur ruang vakum | Struktur pintu depan vertikal, sistem pembuangan udara belakang dan ruang pendingin air berlapis ganda | ||||||||||
| Bahan ruang vakum | stainless steel 304 / 316L | ||||||||||
| Kekosongan luar biasa | 6.0x10-4Pa (ruang muat, bersih, pengeringan) | ||||||||||
| Kecepatan Pemompaan Vakum | dari atmosfer ke 8,0 * 10-3Pa ≤15 menit | ||||||||||
| Sistem pompa vakum | Pompa difusi atau pompa molekuler + Pompa akar + Pompa mekanik + Pompa penahan (model spesifik dapat dipilih sesuai dengan kebutuhan pelanggan) | ||||||||||
| Sumber busur | 6 unit atau 8 unit | 8 unit atau 10 unit | 10 unit atau 12 unit | 14 unit atau 16 unit | 16 unit atau 18 unit | ||||||
| Catu daya bias | 20KW / set | 20KW / set | 30KW / set | 40KW / set | 50KW / set | ||||||
| Model Mengemudi | Revolusi dan rotasi planet, regulasi kecepatan frekuensi variabel (dapat dikontrol dan disesuaikan) | ||||||||||
| Sistem pemanas | Dapat dikendalikan dan disesuaikan dari suhu kamar hingga 450 ° C (Kontrol suhu PID) | ||||||||||
| MFC | 3-jalur atau 4-jalur proses kontrol aliran gas dan sistem tampilan, sistem penyemprotan gas otomatis selektif | ||||||||||
| Sistem pendingin | Mode pendinginan sirkulasi air, menara air pendingin atau pendingin air industri atau sistem pendingin yang dalam. (Disediakan oleh pelanggan) | ||||||||||
| Mode kontrol | Mode integrasi manual / otomatis, operasi layar sentuh, PLC atau kontrol komputer | ||||||||||
| Kekuatan total | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarm dan perlindungan | Kekurangan air alarm, arus berlebih dan kelebihan tegangan, sirkuit terbuka dan kondisi abnormal pompa lainnya, target dan sebagainya serta menjalankan tindakan perlindungan yang relevan dan fungsi interlock listrik | ||||||||||
| Area peralatan | W2.5m * L3.5m | W3m * L4m | W4m * L5m | W4.5m * L6m | W5m * L7m | ||||||
| Parameter teknis lainnya | Tekanan Air ≥0.2MPa, Suhu Air ≤25 ° C, Tekanan Udara 0,5-0.8MPa | ||||||||||
| Catatan | Konfigurasi spesifik peralatan pelapis dapat dirancang sesuai dengan persyaratan proses kinerja pelapisan | ||||||||||
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.
