Mesin pelapis vakum mengadopsi kontrol PLC canggih, dan dilengkapi dengan pengukur vakum shift komputer otomatis dan 3 pengontrol aliran. Balikkan catu daya busur dan kontrol suhu otomatis PLD komputer.
Peralatan kami banyak digunakan dalam keramik, mosaik, perangkat keras, jam, ponsel, mainan elektronik, dekorasi dan bidang lainnya.
Fitur utama
1. Ubin berlapis emas atau perak film cerah dan halus dengan lapisan cepat.
2. Adaptasi yang baik, perawatan sederhana, pekerjaan yang stabil.
3. Desain dan manufaktur peralatan khusus non-standar harus didasarkan pada produk, produksi, dan persyaratan khusus pelanggan pada film.
4. Target magnetron, target kembar frekuensi menengah dan lain-lain dapat diinstal tambahan.
MODEL | RTAS1000 | |||||||
TEKNOLOGI | DC magnetron sputtering + deposisi arc arc | |||||||
BAHAN CHAMBER | Baja Tahan Karat (S304) | |||||||
UKURAN CHAMBER | Φ1000 * 1000mm (H) | |||||||
JENIS CHAMBER | Ruang octahedron biasa, 2 pintu | |||||||
ROTASI RACK & SISTEM JIG | 6 (8) satelit, Maks. berat: 400kgs | |||||||
SUPPLIES DAYA | Jumlah Sputtering: 2 * 24 KW Bias dari Catu Daya: 1 * 24W Catu daya untuk opsi Sumber Ion Catu daya 2 set, catu daya AE untuk opsi | |||||||
BAHAN DEPOSISI | Ti, Au, Ag dll. | |||||||
SUMBER DEPOSISI | 2 pasang (4 buah) Katup Sputtering + 2 Lapisan Sumber Ion: Dia800mm * H550mm; Area Keseragaman: ± 10 ~ 15% | |||||||
KONTROL | PLC (Pengontrol Logika yang Dapat Diprogram) + Layar Sentuh (model operasi manual + auto + semi-otomatis) | |||||||
SISTEM POMPA | Pompa Rotary Vane: SV200 - 1 set (Leybold) | |||||||
Roots Pump: WAU501 - 1 set (Leybold) | ||||||||
Pompa Induk: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Pompa Molekul Suspensi Rotor Magnet: MAG2200 - 2 set (Leybold) | ||||||||
PENGENDALIAN ARUS MASSA GAS | 3 saluran, Buatan Amerika (merek MKS) | |||||||
VACUUM GAUGE | Model: ZDF-X-LE, Buatan Cina | |||||||
Sumber Ion Linier | 2 buah Pra-perawatan, pembersihan plasma + deposisi berbantuan | |||||||
SISTEM KESELAMATAN | Sejumlah kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan | |||||||
PEMANASAN | Pemanas: 20KW. Maks. temp .: 400 ℃ | |||||||
PENDINGINAN | Industrial Chiller (Air Dingin) | |||||||
POWER MAX. | 100KW (Perkiraan) | |||||||
KONSUMSI DAYA RATA-RATA | 45 KW (Perkiraan) | |||||||
BERAT KOTOR | T (Kira-kira) | |||||||
CETAK KAKI | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
LISTRIK TENAGA LISTRIK | AC 380V / 3 fase / 50 HZ |
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.