Pabrik Pelapisan Sputtering Ni PVD, Sistem Metallizing Vakum Cr, Peralatan Pelapisan Vakum Sn / Ag, Pabrik Pelapisan Tembaga

Struktur Peralatan:

Mesin RTAC1215-SP adalah tipe oktal, yang terdiri dari pompa vakum, ruang vakum yang dipasang 8 katoda busur, 1 sumber ion linier, 2 set katoda sputtering DC dan 1 pasang katoda sputtering MF.Sumber ion, flensa yang dipasang pada katoda sputtering adalah standar yang dapat ditukar secara fleksibel berdasarkan permintaan proses pelapisan yang sebenarnya.

Aplikasi:

1. Industri DPC untuk bagian penyegelan Keramik, proses DPC, sistem Sputtering PVD Tembaga, Chip Keramik LED Dengan Cooper Plating, Al₂HAI₃, Papan Sirkuit Keramik AlN, Pelat Al2O3 Pada LED, Semikonduktor

2. Perak, Ni, Chrome, Emas, Aluminium, Dalam, Sn dll. film logam dan TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN dll.

Keuntungan:

1. Produksi hemat biaya

2. Humanisasi stasiun kerja (desain ergonomis stasiun kerja, meminimalkan ruang, kebisingan dan bahaya kecelakaan)

3. Hasil berkualitas tinggi.

4. Daya rekat kuat dengan perangkat pemanas yang kuat dan pembersihan sumber plasma;

5. Desain ringkas dan dengan akses mudah untuk pekerjaan peningkatan dan pemeliharaan.

6. Otomatisasi Sepenuhnya, PLC + Layar Sentuh, sistem kontrol sekali sentuh.

7. Efisiensi tinggi dengan konsumsi daya yang lebih sedikit, maks.50% penghematan biaya produksi.

Spesifikasi teknis:

• Pertunjukan

1. Tekanan Vakum Utama: lebih baik dari 9,0 * 10^-5Pa;

• Tekanan Vakum Dasar: 3.0 * 10^-2Pa

3. Waktu Pemompaan: dari atm ke 1,0 × 10^-3Pa≤15 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Sumber deposisi: katoda sputtering magnetron Gencoa, katoda busur kemudi, sumber ion

5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis/Semi-Otomatis/Manual

6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks.500℃,

9. Sumber ion untuk proses PECVD dan PA PVD.

• Struktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem kunci lengkap yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter Dalam: 1200mm

Tinggi Bagian Dalam: 1500mm

1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304

Pintu dan flensa SUS304

Struktur penguatan ruang: Baja ringan SS41, dengan perawatan permukaan akhir yang dicat.

Chassis ruang baja ringan SS41 dengan perawatan permukaan akhir yang dicat.

1.3 Perisai Ruang: SUS304

1.4 Jendela Lihat: 2 di pintu

1.5 Katup Ventilasi Ruang Vakum (termasuk peredam)

1.6 Pintu: bahan SUS304

2. Sistem Pemompaan Vakum Kasar:
Pompa vakum baling-baling putar oli + Pompa Penahan

• Sistem Pemompaan Vakum Tinggi:

Pompa Molekul Suspensi Magnetik - 2 set

4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi- Sistem Operasi Layar Sentuh PLC+:

Pemasok:

PLC: Mitsubishi + Layar Sentuh (Buatan China)

Komponen Elektronik: SCHNEIDER, OMRON.

Sistem Perlindungan Keamanan:Banyak kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan (air, gas saat ini, suhu, dll.)

Sistem Proses Pelapisan: Otomatisasi & Kontrol Proses.

4.1 Sirkuit utama: Sakelar pemutus tidak ada sekering, sakelar elektromagnetik, tipe seri C/T

4.2 Catu Daya: Daya sputtering DC/MF + Daya busur DC + Catu Daya Bias

4.3 Sistem kontrol pengendapan

4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, Shutdown otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis

4.5 Sistem Pengukuran

Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Pengukur Penning + Pengukur vakum lengkap - merek Eropa

Alat pengukur suhu: Termokopel
MFC: Pengontrol Aliran Massa (4 cara),

4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, Aliran air pendingin, Mis-operasi

4.7 Indikator Beban Daya: Indikator tegangan dan indikator arus beban

5.Sistem Deposisi

5.1 Sumber pengendapan: Katoda sputtering+ Sumber busur + Sumber Ion

5.2 Bahan pengendapan: Tembaga, Aluminium, Krom, Perak, Emas, SS, Titanium dll.

6.Sub-Sistem

6.1 Sistem Kontrol Katup Terkompresi Udara

6.2 Sistem Air Pendingin: Pipa aliran air dan sistem katup sakelar

• Lingkungan kerja

Udara Terkompresi: 5~8kg/cm2

Air Pendingin: Suhu Air-Dalam: 20 ~ 25 , 200 Liter / mnt,
Tekanan Masuk Air: 2~3 kg/cm2,

Daya: 3 Fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, konsumsi daya rata-rata: 60KW

Area Pemasangan: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology mendukung Anda dengan solusi pelapisan total.