Fitur Desain :
Spesifikasi teknis:
1. Tekanan Vakum Ultimate: lebih baik dari 5.0 × 10 -6 Torr.
2. Tekanan Vakum Operasi: 1.0 × 10 -4 Torr.
3. Memompa waktu: dari 1 atm ke 1.0 × 10 -4 Torr≤3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)
4. Metalizing material (evaporasi): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu ... dll.
5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual
Mesin pelapisan vakum berisi sistem yang dilengkapi kunci yang tercantum di bawah ini:
1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter dalam 1600mm
Ketinggian Batin: 1600mm
1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304 (baja ringan SS41 untuk opsi)
Pintu dan flensa SUS304 (baja ringan SS41 untuk opsi)
Chamber memperkuat struktur: baja ringan SS41, dengan finishing permukaan dicat.
Chamber chassis SS41 baja ringan dengan finishing permukaan yang dicat.
1.3 Pelindung Evaporasi: SUS304
1.4 Lihat Jendela: di pintu kamar
1,5 Vakum Chamber Venting Valve (termasuk peredam suara)
1.6 Pintu: bahan SUS304
2. Rouhging Vacuum Pumping System (Paket Backing Pump)
3. Sistem Pompa Vakum Tinggi (Diffusion Pump + perangkat perangkap Dingin)
4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi - PLC + Layar Sentuh
4.1 Sirkuit utama: Saklar pemutus sekring-sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri
4.2 Daya Evaporasi: 35kVA
4.3 Sistem Pengendalian Pengungsian
4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, Penonaktifan otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis
4.5 Sistem Pengukuran Tekanan Vakum
Pengukur Vakum: Pirani + Penning gauge
Pengukur Thermocouple: 760 Torr ~ 5 * 10 -4 Torr
4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, aliran air pendingin, Salah operasi
4.7 Indikator Daya Beban: Indikator tegangan dan indikator arus beban
5 . Sistem Deposisi
5.1 sumber penguapan filamen Tungsten
5.2 Bahan evaporasi termal: kabel, cincin, batang dll.
6. Sub-Sistem
6.1 Sistem Kontrol Katup Kompresi Udara
6.2 Sistem Air Pendingin: Pipa aliran air dan sistem katup sakelar
6.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Brooks Cryopump untuk opsi.
Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2
Air Pendingin: Suhu Air-In: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / menit,
Tekanan Air Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,
Power: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 140kVA
Area Instalasi: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700mm
Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis
2-Pintu Vertikal Vacuum Metallizing Equipmen t model lainnya:
Model | Ukuran (mm) | Jigs substrat (Qty.) | Daya Evaporasi (kVA) | Plasma (kVA) | Waktu Siklus | Tenaga listrik |
RTEP1012 | Φ1000xH1200 | 6,8,10 | 20 | 7 | 10 '~ 15' tergantung pada Produk | 3Phase / AC380V, 50HZ 3Ph, 220 hingga 440V, 60 HZ |
RTEP1416 | Φ1400xH1600 | 6, 8,16 | 30 | 7 | ||
RTEP1418 | Φ1400xH1800 | 6,16 | 35 | 10 | ||
RTEP1616 | Φ1600xH1600 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1618 | Φ1600xH1800 | 8.16 | 35 | 10 | ||
RTEP1820 | Φ1800xH2000 | 6 | 40 | 10 | ||
RTEP2022 | Φ2000xH2200 | 10,12,16 | 40 | 10 |