Balance / Tidak Seimbang Tertutup Sistem Filamen Sputtering Berlapis Magnetik, Tanaman Sputtering Vakum Tembaga Berlapis Langsung The Mangetron Sputtering Coater RTSP1215 adalah esigned untuk tembaga, alumunium, plastik, papan sirkuit logam lapisan film konduktif plating. Ini dapat mengembun film tipis Nano pada substrat. Kecuali Ag tergagap-gagap, itu juga dapat menyimpan Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L.
Mesin RTSP1215 dipasang dengan 2 pasang katoda sputtering MF pada ruang, sebelum deposisi film PVD dan 1 set sumber Anode Layer Ion untuk pembersihan pemboman plasma.
Sumber ion asli dari perusahaan Gencoa, properti:
1. Dioptimalkan medan magnet untuk menghasilkan sinar plasma collimated pada tekanan sputtering standar
2. Pengaturan otomatis untuk gas untuk mempertahankan arus & tegangan konstan - kontrol otomatis multi-gas
3. Grafit anoda dan katoda untuk melindungi substrat dari kontaminasi dan menyediakan komponen umur panjang
4. Isolasi listrik standar RF pada semua sumber ion
5. Pendinginan anoda dan katoda secara langsung - peralihan cepat suku cadang
6. Mudah beralih dari bagian katoda untuk menyediakan beberapa perangkap magnetik untuk operasi tegangan rendah, atau sinar yang terfokus
7. Tegangan listrik yang diatur dengan umpan balik penyesuaian gas untuk mempertahankan arus yang sama setiap saat
Aplikasi RTSP1215 Sputtering Coating Equipment:
1. Tersedia pada substrat dari: Plastik, Polimer, Kaca dan lembaran keramik, Stainless steel, lembaran Tembaga, papan Aluminium dll.
2. Untuk menghasilkan film Nano seperti: TiN, TiC, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, Al dll.
RTSP1215 Fitur Desain Sputtering Coating Equipment:
1. Desain yang kuat, baik untuk ruang ruang yang terbatas
2. Akses mudah untuk pemeliharaan dan perbaikan
3. Sistem pemompaan cepat untuk hasil tinggi
4. CE standar kandang listrik, standar UL juga tersedia.
5. Pengerjaan fabrikasi akurat
6. Stabil berjalan untuk menjamin produksi film berkualitas tinggi.
Fitur utamanya adalah program dan perangkat lunak kontrol dan operasi Royal yang disesuaikan, yang tersedia untuk memenuhi berbagai permintaan dari permintaan pelanggan. Sistem kontrolnya adalah PLC + layar sentuh:
PLC pemantauan jarak jauh dan kontrol (Local Area Network)
1) Program Remote View Team View
2) Program PLC membuat cadangan + program HMI cadangan
3) lingkungan operasi PC
Sistem: Jendela 2000 / Jendela XP / Jendela 7
Piksel Display: 1920 * 1080
Konfigurasi
| MODEL | RTSP1215 |
| BAHAN | Baja Tahan Karat (S304) |
| UKURAN KAYU | Φ1200 * 1500mm (H) |
| JENIS CHAMBER | Struktur 1-pintu, Vertikal |
| PAKET POMPA SINGLE | Pompa VaneVacuum Rotary |
| Pompa Vakum Akar |
| Pompa Molekuler Suspensi Magnetik |
| Dua-tahap pompa vakum baling-baling putar |
| TEKNOLOGI | MF Magnetron Sputtering, Sumber Ion Linear |
| SUMBER DAYA LISTRIK | Sputtering power supply + Bias Power supply + Sumber Ion |
| SUMBER DEPOSISI | 2 pasang MF Sputtering Katoda + Sumber Ion |
| KONTROL | PLC + Layar Sentuh |
| GAS | Gas Mass Flow Meter (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Nitrogen dan Ethyne, Oksigen |
| SISTEM KESELAMATAN | Banyak pengaman interlocks untuk melindungi operator dan peralatan |
| PENDINGINAN | Air Pendingin |
| PEMBERSIHAN | Glow Discharge / Sumber Ion |
| POWER MAX. | 120KW |
| KONSUMSI PEKERJAAN RATA-RATA | 70KW |
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi total pelapisan.
Pesan Anda harus antara 20-3.000 karakter!
