Sistem Deposisi Sputtering Magnetron Kepadatan Tinggi Untuk Film Komposisi Hidrofobik, Mesin Spectering PECVD

Aplikasi:

Mesin RTSP1213 adalah sistem sputtering model batch, dapat menyimpan berbagai lapisan keras, lapisan lembut, film senyawa dan film pelumas padat pada substrat bahan logam dan non-logam. Diterapkan pada industri kendaraan Fuel Cell Hidrogen, produk fotonik, aerospace dan industri energi baru lainnya.

Properti:

Untuk meningkatkan konduktivitas permukaan;

Ketahanan korosi yang tinggi;

Ketahanan aus yang tinggi;

Kekerasan tinggi

Film komposisi hidrofobik dan film fungsional lainnya

Tersedia untuk pelapis senyawa: film logam dan non-logam.

Ketebalan film berkisar dari 100nm sampai 12μm, toleransi ketebalan ± 5%
Adhesi kuat.

Bagian tempering perawatan permukaan pengerasan rendah.

Mengetik:

Orientasi vertikal, struktur polyhedron, 2-pintu (depan dan belakang)

Fitur:

• Sistem ramah lingkungan, tidak ada limbah industri, polusi udara dan kebisingan;
• Pengoperasian yang mudah: Layar sentuh + kontrol PLC dan program perangkat lunak unik untuk satu operasi sentuh, lebih dari 80% alarm trouble shootings.
• Hingga 10 resep pemrosesan login dan backup; pengulangan dan keragaman yang tinggi.
• Desain khusus sistem Carousel untuk keseragaman tinggi pengendapan film.
• Produktivitas tinggi dan kualitas tinggi
• Sistem stabil dan andal, menjalankan 365 hari * 24 jam (pemeliharaan dan perbaikan waktu pemutusan)
• Sistem pemompaan efisiensi: saluran pemipaan hampa yang lebih pendek untuk kecepatan perpipaan maksimum dengan pompa merek Eropa yang terkenal
• Desain kompak menempati ruang instalasi minimum.

Spesifikasi teknis

• Kinerja

1. Tekanan Vakum Ultimate: lebih baik dari 8,0 * 10 ^-5 Pa;

• Tekanan Vakum dasar: 3,0 * 10 ^{- 4} Pa

3. Memompa down Time: dari atm ke 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 menit (suhu ruangan, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Sumber deposisi: katoda sputtering seimbang / tidak seimbang

5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual

6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks. 450 ℃,

7. Plasma pembersihan dan Plasma membantu deposisi: Anode Linear Ion Source

8. Magnetic Closed - Loop filed. (Katoda ketidakseimbangan / keseimbangan)

9. Bias Power supply untuk pemakaian cahaya.

• Struktur

Mesin pelapisan vakum berisi sistem yang dilengkapi kunci yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter dalam 1200mm

Ketinggian Batin: 1300mm

1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304

Pintu dan flensa SUS304

Chamber memperkuat struktur: baja ringan SS41, dengan finishing permukaan dicat.

Chamber chassis SS41 baja ringan dengan finishing permukaan yang dicat.

1.3 Sputtering Shield: SUS304

1.4 Lihat Jendela: di pintu kamar - 4 set (2 di setiap pintu)

1,5 Vakum Chamber Venting Valve (termasuk peredam suara)

1.6 Pintu: bahan SUS304

2. Rou ging Sistem Pemompaan Vakum :

Pompa vakum baling-baling putar minyak + Pompa akar + Pompa Holding (Leybold)

3. Sistem Pompa Vakum Tinggi :

Magnetic Suspension Molecular Pump (Leybold)

• Katup gerbang - 2 set

4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi - PLC + Layar Sentuh

4.1 Sirkuit utama: Saklar pemutus sekring-sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri

4.2 Sputtering Power Supply + Power supply sumber Ion + Bias Power Supply (Advanced Energy)

4.3 Sistem pengendalian pengendapan sputtering

4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, Penonaktifan otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis

4.5 Sistem Pengukuran

Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Penning gauge + Full range vacuum gauge - Merek Eropa

Alat pengukur suhu: Thermocouple
MFC: Mass Flow Controller (4 cara), mode tampilan digital - merek Eropa

4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, aliran air pendingin, Salah operasi

4.7 Indikator Daya Beban: Indikator tegangan dan indikator arus beban

5 . Sistem Deposisi

5.1 Sumber Deposisi: Katoda Sputtering, Sumber ion - Merek Eropa

5.2 Bahan deposisi: Sasaran karbon

6. Sub-Sistem

6.1 Sistem Kontrol Katup Kompresi Udara

6.2 Sistem Air Pendingin: Pipa aliran air dan sistem katup sakelar

7. Lingkungan Kerja

Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2

Air Pendingin: Suhu Air-In: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / menit,
Tekanan Air Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,

Daya: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, konsumsi daya rata-rata: 40KW

Area Instalasi: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi total pelapisan.