Pecvd Lapisan Film Tipis Mesin, Hidrogen Sel Bahan Bakar Kendaraan Sistem Pelapisan Sputtering
Kendaraan Sel Bahan Bakar Hidrogen Sputtering Coating System
FCV adalah nama pendek dari Fuel Cell Vehicles, dengan teknologi terbaru untuk mobil hijau generasi berikutnya. Ini berbeda dari baterai primer seperti sel kering dan baterai isi ulang yang perlu mengulang pengisian daya, dan 100% ramah lingkungan.
Teknologi inti adalah bagaimana menghasilkan energi listrik dengan modul daya sel bahan bakar melalui reaksi elektrokimia antara hidrogen sebagai bahan bakar dan oksigen. Para ilmuwan, insinyur, profesor dari organisasi transportasi dan manufaktur kendaraan di seluruh dunia telah membuat ribuan tes dan akhirnya mengembangkan proses yang tepat.
Royal Technology telah bekerja erat dengan pelanggan dalam 3 tahun terakhir dan berhasil merancang dan mengarang sistem deposisi sputtering yang efisien, dikomersilkan dan distandardisasi. Kami percaya teknologi ini akan benar-benar mengganggu industri kendaraan.
Aplikasi:
Mesin RTSP1213 adalah sistem sputtering model batch, dapat menyimpan berbagai lapisan keras, lapisan lembut, film senyawa dan film pelumas padat pada substrat bahan logam dan non-logam. Diterapkan pada industri kendaraan Fuel Cell Hidrogen, produk fotonik, aerospace dan industri energi baru lainnya.
Properti:
Untuk meningkatkan konduktivitas permukaan;
Ketahanan korosi yang tinggi;
Ketahanan aus yang tinggi;
Kekerasan tinggi
Film komposisi hidrofobik dan film fungsional lainnya
Tersedia untuk pelapis senyawa: film logam dan non-logam.
Ketebalan film berkisar dari 100nm sampai 12μm, toleransi ketebalan ± 5%
Adhesi kuat.
Bagian tempering perawatan permukaan pengerasan rendah.
Mengetik:
Orientasi vertikal, struktur polyhedron, 2-pintu (depan dan belakang)
Fitur:
Spesifikasi teknis
1. Tekanan Vakum Ultimate: lebih baik dari 8,0 * 10 -5 Pa;
3. Memompa down Time: dari atm ke 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 menit (suhu ruangan, ruang kering, bersih dan kosong)
4. Sumber deposisi: katoda sputtering seimbang / tidak seimbang
5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual
6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks. 450 ℃,
7. Plasma pembersihan dan Plasma membantu deposisi: Anode Linear Ion Source
8. Magnetic Closed - Loop filed. (Katoda ketidakseimbangan / keseimbangan)
9. Bias Power supply untuk pemakaian cahaya.
Mesin pelapisan vakum berisi sistem yang dilengkapi kunci yang tercantum di bawah ini:
1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter dalam 1200mm
Ketinggian Batin: 1300mm
1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304
Pintu dan flensa SUS304
Chamber memperkuat struktur: baja ringan SS41, dengan finishing permukaan dicat.
Chamber chassis SS41 baja ringan dengan finishing permukaan yang dicat.
1.3 Sputtering Shield: SUS304
1.4 Lihat Jendela: di pintu kamar - 4 set (2 di setiap pintu)
1,5 Vakum Chamber Venting Valve (termasuk peredam suara)
1.6 Pintu: bahan SUS304
2. Rou ging Sistem Pemompaan Vakum :
Pompa vakum baling-baling putar minyak + Pompa akar + Pompa Holding (Leybold)
3. Sistem Pompa Vakum Tinggi :
Magnetic Suspension Molecular Pump (Leybold)
4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi - PLC + Layar Sentuh
4.1 Sirkuit utama: Saklar pemutus sekring-sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri
4.2 Sputtering Power Supply + Power supply sumber Ion + Bias Power Supply (Advanced Energy)
4.3 Sistem pengendalian pengendapan sputtering
4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, Penonaktifan otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis
4.5 Sistem Pengukuran
Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Penning gauge + Full range vacuum gauge - Merek Eropa
Alat pengukur suhu: Thermocouple
MFC: Mass Flow Controller (4 cara), mode tampilan digital - merek Eropa
4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, aliran air pendingin, Salah operasi
4.7 Indikator Daya Beban: Indikator tegangan dan indikator arus beban
5 . Sistem Deposisi
5.1 Sumber Deposisi: Katoda Sputtering, Sumber ion - Merek Eropa
5.2 Bahan deposisi: Sasaran karbon
6. Sub-Sistem
6.1 Sistem Kontrol Katup Kompresi Udara
6.2 Sistem Air Pendingin: Pipa aliran air dan sistem katup sakelar
7. Lingkungan Kerja
Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2
Air Pendingin: Suhu Air-In: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / menit,
Tekanan Air Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,
Daya: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, konsumsi daya rata-rata: 40KW
Area Instalasi: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm
Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi total pelapisan.