High Performance Vacuum Metal Deposition Equipment CsI vacuum metalizer oleh Thermal Crucible

Peralatan Deposisi Logam Vakum Kinerja Tinggi, metallizer vakum CsI oleh Thermal Crucible

Kata kunci: resolusi tinggi, CsI: T1;film sintilator tipis;pencitraan sinar-X;metode deposisi vakum, pasca deposisi lapisan karbon

Deposisi film tipis CsI untuk perangkat Pencitraan Sinar-X adalah teknik canggih untuk menguapkan CsI di layar untuk memberikan pencitraan berkualitas tinggi.Dengan kinerja resolusi tinggi, juga banyak digunakan dalam pemeriksaan dan inspeksi keamanan, mata pelajaran fisika energi tinggi, fisika bidang energi nuklir, dll.

Sistem pelapisan evaporasi termal RTEP0913 dikembangkan untuk deposisi film CsI pada pencitraan sinar-X di lingkungan bertekanan vakum tinggi.Scintillator CsI T1 mulai dari ketebalan 2 m hingga 14 m.Film lapisan karbon dapat dianggap sebagai pasca-deposisi untuk meningkatkan resolusi tinggi.

sesium iodida (CsI T1) Kekosongan Endapan pertunjukan dan penokohan

• Resolusi Spasial Ultra Tinggi Pencitraan;
• Respon cepat untuk pencitraan yang lebih tajam;
• Mengklasifikasikan area gambar ujung-ke-ujung yang terdepan;
• Lapisan penyerap optik atau lapisan reflektor;
• Dosis sinar-X pasien rendah;
• Cocok untuk perangkat CCD dan CMOS, terutama di industri medis.

Jenis:

akuOrientasi vertikal, Silinder, 1 pintu, bukaan depan.

DesainFitur:

akuTekanan vakum pamungkas ultra-tinggi: hingga 9,0 * 10^-5Pa;

akuPerangkat pemanasan cepat untuk daya rekat yang baik;

aku Pemilihan pompa vakum tinggi yang tepat dan sistem pemompaan untuk menghindari bahan berbahaya  terpapar di udara;

akuSistem pelapisan yang kokoh, kompak dan solid;

akuStabilitas tinggi, bekerja 960 jam tanpa henti.

akuPerangkat Inficon Film Thickness Controller untuk memantau ketebalan film secara inline.

akuDesain dan pemilihan cawan lebur eksklusif untuk deposisi CsI.

akuLapisan substrat, maks.ukuran: 500*500mm

akuKonsep desain rak yang canggih dapat memuat 2 buah substrat per batch, sangat meningkatkan hasil produksi.

Spesifikasi teknis:

akuPertunjukan

1.Terakhir Kekosongan Tekanan: lebih baik daripada 9.0*10^-5Pa;

2.Tekanan Vakum Operasi: 6.0*10^-4Pa~9.0*10^-4Pa; 

Tekanan Vakum Dasar: 3.0*10^-4Pa

3. Memompa Waktu henti: dari 1 atm hingga 2.0×10^-3 Pa≤.25menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Sumber pengendapan: penguapan termal wadah kuarsa

5. Model Operasi:Otomatis Penuhsecara matematis /Semi-Otomatis/ Secara Manual 

6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks.1000℃,
Waktu pemanasan substrat kaca TFT: dari 0~250℃<40 menit;

7. Tingkat pengendapan CsI:  0～100nm/dtk

8. CsI: Ketebalan film T1: hingga 600μm

akuStruktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem kunci lengkap yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter Dalam 900mm

Tinggi bagian dalam: 1300mm

1.2Bahan: Ruang Vakum SUS304

Pintu dan flensa SUS304

Struktur penguatan ruang: Baja ringan SS41, dengan perawatan permukaan akhir yang dicat.

Chassis ruang baja ringan SS41 dengan perawatan permukaan akhir yang dicat.

1.3 Penguapan Shlapangan: SUS304

1.4 Jendela Tampilan: padapintu kamar

1.5 Katup Ventilasi Ruang Vakum (termasuk peredam)

1.6 Pintu: bahan SUS304

2. Roughing Sistem Pemompaan Vakum:
Pompa vakum baling-baling putar oli + pompa akar (Pfeiffer Jerman)

 

3.Sistem Pemompaan Vakum Tinggi:

Pompa Molekul Suspensi Magnetik (Pfeiffer Jerman)

4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi- Layar Sentuh PLC+

4.1 Msirkuit ain: Sakelar pemutus tidak ada sekering, elektromagnetikmengalihkan, C/T dalam tipe seri

4.2  Daya Penguapan

4.3 Sistem Kontrol Penguapan

4.4Sistem Operasi: Layar Sentuh +PLC, kontrol resep dan pencatatan data, Shutdown otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis

4.5  Ukur Sistem

     Tekanan Vakum : Pengukur vakum: Pirani + Pengukur Penning + Pengukur vakum lengkap

Alat pengukur suhu: Termokopel

Pengontrol ketebalan film: merek Inficon, SQC-310   
 

4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi , Aliran air pendingin, Salah-operasi 

4.7 Indikator Beban Daya: Indikator tegangan dan indikator arus beban

5.Sistem Deposisi

5.1 Sumber pengendapan: wadah kuarsa

5.2 Bahan pengendapan: CsI, Karbon

6. Sub-Sistem

6.1 Sistem Kontrol Katup Terkompresi Udara

6.2 Sistem Air Pendingin: Pipa aliran air dan sistem katup sakelar

 Lingkungan kerja

Udara Terkompresi: 5~8kg/cm2

Air Pendingin: Suhu Air-Dalam: 20 ~ 25 , 200 Liter / mnt,
           Tekanan Masuk Air: 2~3 kg/cm2,

Daya: 3 Fase 380V 50Hz (60Hz), 65kVA, konsumsi daya rata-rata: 30KW 

Area Instalasi: (L*W*H) 3000*200*2300mm

Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanikS

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.