DC logam murni magnetron sputtering mesin deposisi, Tembaga/Perak/emas/grafit ultra tipis filme mesin deposisi
Pertunjukan
1. Tekanan Vakum Utama: lebih baik dari 5.0 × 10-6Tor.
2. Tekanan Vakum Operasi: 1.0 × 10-4Tor.
3. Waktu Pemompaan: dari 1 atm hingga 1,0 × 10-4Torr≤ 3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)
4. Material metalizing (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr dll.
5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis/Semi-Otomatis/Manual
Struktur
Mesin pelapis vakum berisi sistem kunci lengkap yang tercantum di bawah ini:
1. Ruang Vakum
2. Sistem Pemompaan Vakum Rouhging (Paket Pompa Pendukung)
3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi (Pompa Molekul Suspensi Magnetik)
4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi
5. Sistem Fasilitas Bantu (Sub Sistem)
6. Sistem Deposisi
Fitur Utama Mesin Pelapis Tembaga Sputtering
1. Dilengkapi dengan 8 steer arc cathodes dan DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, unit sumber Ion.
2. Tersedia lapisan multilayer dan co-deposition
3. Sumber ion untuk pra-perawatan pembersihan plasma dan deposisi dengan bantuan sinar ion untuk meningkatkan daya rekat film.
4. Unit pemanas substrat Keramik/Al2O3/AlN;
5. Sistem rotasi dan revolusi substrat, untuk pelapisan 1 sisi dan pelapisan 2 sisi.
Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant pada Substrat Memancar Keramik
Proses DPC- Direct Plating Copper adalah teknologi pelapisan canggih yang diterapkan pada industri LED / semikonduktor / elektronik.Salah satu aplikasi tipikal adalah Ceramic Radiating Substrat.
Deposisi film konduktif Cooper pada substrat Al2O3, AlN oleh teknologi sputtering vakum PVD, dibandingkan dengan metode manufaktur tradisional: DBC LTCC HTCC, biaya produksi yang jauh lebih rendah adalah fitur tingginya.
Tim teknologi kerajaan membantu pelanggan kami untuk berhasil mengembangkan proses DPC dengan teknologi sputtering PVD.
Mesin RTAC1215-SP dirancang khusus untuk lapisan film konduktif Tembaga pada chip Keramik, papan sirkuit keramik.
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.