Apa itu PVD atau Vacuum Metalization?
Proses penerapan lapisan film tipis logam dengan cara PVD adalah menempatkan bagian tersebut ke dalam ruang vakum tertutup, dan menerapkan arus listrik dan tegangan atau pemboman gas inert untuk mengionisasi bahan target (yang dapat berupa logam murni atau paduan ). Setelah bahan target terionisasi menjadi bentuk uap, itu diendapkan pada permukaan bagian. Ada tiga jenis pelapisan PVD yang populer: Penguapan Vakum dan Sputtering, dan Arc Vapor Deposition (atau Arc Katodik)
Deposisi Sputter
Sputtering adalah proses pengendapan logam di mana material target tidak diuapkan menggunakan panas, tetapi atom-atom logamnya secara fisik copot dari target oleh tabrakan partikel yang membombardir. Jarak dari target ke bagian dalam ruang sputtering jauh lebih pendek daripada di deposisi vakum. Sputtering juga dilakukan di bawah vakum yang jauh lebih tinggi. Sumber sputtering itu sendiri dapat terbuat dari unsur, paduan, campuran, atau senyawa. Bentuk pengendapan logam ini umumnya digunakan dalam manufaktur semikonduktor, pada kaca arsitektur, lapisan reflektif, CD compact disc, dan pelapis dekoratif.
Deposisi uap uap
Deposisi busur katodik atau Arc-PVD adalah teknik deposisi uap fisik di mana busur listrik digunakan untuk menguapkan bahan dari target katoda. Bahan yang menguap kemudian mengembun pada substrat, membentuk film tipis. Teknik ini dapat digunakan untuk menyimpan film logam, keramik, dan komposit. Proses evaporasi busur dimulai dengan pemukulan busur arus tinggi, tegangan rendah pada permukaan katoda (yang dikenal sebagai target) yang menimbulkan kecil (biasanya beberapa mikrometer lebar), daerah pemancar yang sangat energik yang dikenal sebagai katoda titik. Temperatur yang terlokalisir pada titik katoda sangat tinggi (sekitar 15.000 ℃), yang menghasilkan suatu pancaran bahan katoda menguap tinggi (10 km / detik), meninggalkan kawah di belakang pada permukaan katoda.
Teknologi kerajaan yang dirancang dan dibuat dengan peralatan metalisasi HVD RTAC-SP series adalah
populer digunakan untuk paduan logam, kuningan, Zamak (paduan seng), plastik, elektronik, pipa dan plumbings, perlengkapan tukang ledeng, katup sistem penyiraman dan topi; katup medis dan industri dll. Tujuan proses terutama untuk menggantikan Chromium Electroplating yang berbahaya bagi manusia dan lingkungan.
Konfigurasi dan Fitur Vacuum Metallizing System Tinggi:
Model | RTAC1008-SPMF | RTAC1250-SPMF | RTAC1615-SPMF |
Ukuran Kamar yang Efektif | Φ1000 x H800mm | Φ1250 x H1250mm | Φ1600 x H1500mm |
Sumber Deposisi | Cylinder Arc (steered circular arc untuk opsi) + MF Sputtering Cathode + Sumber Ion Linear | ||
Sistem Pemompaan Vakum (Pompa Leybold + Turbo Molecular Pump) | SV300B - 1 set (300m³ / jam) | SV300B - 1 set (300m³ / jam) | SV300B - 2 set (300m³ / jam) |
WAU1001-1set (1000m³ / jam) | WAU1001-1set (1000m³ / jam) | WAU2001-1set (1000m³ / jam) | |
D60T- 1 set (60m³ / jam) | D60T- 1 set (60m³ / jam) | D60T- 1 set (60m³ / jam) | |
Turbo Molecular Pumps: 2 set (3500L / S) | Turbo Molecular Pumps: 2 set (3500L / S) | Turbo Molecular Pumps: 3 set (3500L / S) | |
Sputtering Power Supply | 1 * 24KW (MF) | 2 * 36KW (MF) | 3 * 36KW (MF) |
Catu Daya Arc | 6 * 5KW | 7 * 5KW | 8 * 5KW |
Bias Power Supply | 1 * 24KW | 1 * 36KW | 1 * 36KW |
Tongkat planet | 6/8 | 12/16 | 20 |
Pemanas | 6 * 2.5KW | 8 * 2.5KW | 9 * 2.5KW |
Ultimate Vacuum | 9.0 * 10-4Pa (kosong, bersih, suhu kamar) | 9.0 * 10-4Pa (kosong, bersih, suhu kamar) | 9.0 * 10-4Pa (kosong, bersih, suhu kamar) |
Waktu Siklus (tergantung pada pompa) | 40 '~ 50' tergantung pada bahan substrat dan pelapisan resep | ||
Kebutuhan Daya Kerja | 3Phase 4 baris, AC380V, 50HZ, 35KW | 3Phase 4 baris, AC380V, 50HZ, 120KW | 3Phase 4 baris, AC380V, 50HZ, 150KW |
Air Pendingin | YA, chiller air industri | ||
Pengolahan Gas (99,99%) | 4 cara | 4 cara | 4 cara |
Jejak (mm) | 2000 * 2000 * 2300 | 4000 * 4500 * 3200 | 5500 * 5000 * 3600 |
Total Berat (KGS) | 4500 | 7000 | 9000 |
Total Konsumsi Daya (Perkiraan) | 50KW | 110KW | 170KW |
Konsumsi Daya Aktual (Sekitar) | 30KW | 60KW | 80KW |
Di atas parameter teknis hanya untuk referensi, Royaltec berhak untuk produksi akhir berdasarkan aplikasi yang ditentukan.
Silakan berkonsultasi dengan kami dengan solusi yang Anda harapkan dari Royaltec, kami menyediakan solusi pelapisan turn-key pada aplikasi ini.