Rumah Berita

Deposisi Arc Cathodic dan Multi -Arc Vacuum Coater

Sertifikasi
kualitas baik Magnetron Sputtering Coating Machine untuk penjualan
Ulasan pelanggan
Saya menghargai kerja sama Royal yang sangat baik untuk proyek ODM saya. Dari sentuhan pertama sampai produk jadi, hanya 6 bulan, kualitas dan layanan yang luar biasa!

—— Pak Wu

Royal telah membangun 3 set mesin untuk lab kami. Aplikasi R & D. Kesabaran, respon cepat dan pengetahuan mereka luar biasa, kerja sama yang bagus selalu.

—— Profesor Chen

Royal memberi kami mesin coating ODM CsI dengan sukses. Kami terus membeli empat set lainnya dalam 2 tahun, tim bagus!

—— Tuan Lee

I 'm Online Chat Now
perusahaan Berita

Deposisi Arc Cathodic dan Multi -Arc Vacuum Coater

Deposisi Arc Cathodic dan Multi -Arc Vacuum Coater
Apa itu Katodik Arc Depositon?

Deposisi busur katodik atau Arc-PVD adalah teknik deposisi uap fisik di mana busur listrik digunakan untuk menguapkan bahan dari target katoda . Bahan yang menguap kemudian mengembun pada substrat, membentuk film tipis . Teknik ini dapat digunakan untuk menyimpan film logam , keramik , dan komposit .

Proses deposit arc katodik:

Proses penguapan busur dimulai dengan pemukulan busur arus , tegangan rendah yang tinggi pada permukaan katoda (dikenal sebagai target) yang menimbulkan kecil (biasanya beberapa mikrometer lebar), daerah pemancar yang sangat energik yang dikenal sebagai katoda titik. Temperatur yang terlokalisasi pada titik katoda sangat tinggi (sekitar 15000 ° C), yang menghasilkan jet katoda vapourisasi berkecepatan tinggi (10 km / detik), meninggalkan kawah di belakang pada permukaan katoda. Katoda tempat hanya aktif untuk waktu singkat, maka itu memadamkan diri dan menyalakan kembali di daerah baru yang dekat dengan kawah sebelumnya. Perilaku ini menyebabkan gerakan busur yang jelas.

Karena busur pada dasarnya merupakan konduktor pembawa arus dapat dipengaruhi oleh penerapan medan elektromagnetik , yang dalam praktiknya digunakan untuk memindahkan busur secara cepat ke seluruh permukaan target, sehingga permukaan total terkikis dari waktu ke waktu.

Busur memiliki densitas daya yang sangat tinggi sehingga menghasilkan ionisasi tingkat tinggi (30-100%), ion bermuatan ganda, partikel netral, cluster dan partikel makro (tetesan). Jika gas reaktif diperkenalkan selama proses evaporasi, disosiasi , ionisasi dan eksitasi dapat terjadi selama interaksi dengan fluks ion dan film senyawa akan disimpan.

Satu kelemahan dari proses evaporasi busur adalah jika titik katoda tetap pada titik evaporatif terlalu lama dapat mengeluarkan sejumlah besar partikel makro atau tetesan. Tetesan-tetesan ini merugikan kinerja pelapisan karena lapisan tersebut tidak diaplikasikan dengan baik dan dapat meluas melalui lapisan. Lebih buruk lagi jika material target katoda memiliki titik leleh yang rendah seperti aluminium , titik katoda dapat menguap melalui target yang menghasilkan bahan backing plate target yang diuapkan atau air pendingin memasuki ruangan. Oleh karena itu, medan magnet seperti yang disebutkan sebelumnya digunakan untuk mengontrol gerakan busur. Jika katoda silindris digunakan katoda juga dapat diputar selama deposisi. Dengan tidak mengijinkan tempat katoda untuk tetap dalam satu posisi, target aluminium terlalu panjang dapat digunakan dan jumlah tetesan berkurang. Beberapa perusahaan juga menggunakan busur yang disaring yang menggunakan medan magnet untuk memisahkan tetesan dari fluks pelapis.

Aplikasi Pengikisan Arc katodik:

Penumpukan busur katodik secara aktif digunakan untuk mensintesis film yang sangat keras untuk melindungi permukaan alat pemotong dan memperpanjang umur mereka secara signifikan. Berbagai macam film tipis keras, lapisan Superhard dan pelapis nanokomposit dapat disintesis oleh teknologi ini termasuk TiN , TiAlN , CrN , ZrN , AlCrTiN dan TiAlSiN .

Ini juga digunakan cukup luas terutama untuk deposisi ion karbon untuk menciptakan film karbon seperti berlian . Karena ion-ion itu dihancurkan dari permukaan secara balistik , itu adalah umum untuk tidak hanya atom tunggal, tetapi kelompok atom yang lebih besar untuk dikeluarkan. Dengan demikian, sistem semacam ini membutuhkan filter untuk menghapus gugus atom dari balok sebelum pengendapan. Film DLC dari filtered-arc mengandung persentase sp 3 berlian yang sangat tinggi yang dikenal sebagai tetrahedral amorphous carbon , atau ta-C .

Siku katodik yang difilter dapat digunakan sebagai sumber ion / plasma logam untuk implantasi Ion dan Implantasi dan Deposisi Ion Perendaman Plasma (PIII & D).

Katoda katoda katoda bulat dan katoda busur silindris banyak digunakan untuk berbagai pelapis dekoratif PVD.

Desain Multi Arc Vacuum Coater:

Sablev type Cathodic arc source, yang paling banyak digunakan di Barat, terdiri dari target konduktif listrik berbentuk silinder pendek di katoda dengan satu ujung terbuka. Target ini memiliki cincin logam mengambang listrik dikelilingi bekerja sebagai cincin kurungan busur (Strel'nitskij perisai). Anoda untuk sistem dapat berupa dinding ruang vakum atau anoda diskrit. Bintik-bintik busur dihasilkan oleh pemicu mekanik (atau penyala) yang mencolok pada ujung terbuka dari target yang membuat sirkuit pendek sementara antara katoda dan anoda. Setelah bintik-bintik busur yang dihasilkan mereka dapat dikemudikan oleh medan magnet atau bergerak secara acak tanpa adanya medan magnet.

Aksenov Quarter-torus saluran makropartikel filter menggunakan prinsip-prinsip optik plasma yang dikembangkan oleh AI Morozov

Sinar plasma dari sumber Katodik Arc mengandung beberapa kelompok atom atau molekul yang lebih besar (disebut makro-partikel), yang mencegahnya berguna untuk beberapa aplikasi tanpa beberapa jenis penyaringan. Ada banyak desain untuk filter makro-partikel dan desain yang paling banyak dipelajari didasarkan pada karya II Aksenov et al. di tahun 70-an. Ini terdiri dari duktus seperempat torus ditekuk pada 90 derajat dari sumber busur dan plasma dipandu keluar dari saluran oleh prinsip optik plasma.

Ada juga desain menarik lainnya seperti desain yang menggabungkan filter saluran langsung yang tertanam dengan katoda bentuk kerucut terpotong seperti yang dilaporkan oleh DA Karpov di tahun 90-an. Desain ini menjadi sangat populer di antara kedua coaters keras-film tipis dan peneliti di Rusia dan negara-negara bekas Uni Soviet sampai sekarang. Sumber busur katodik dapat dibuat menjadi bentuk tubular panjang (extended-arc) atau bentuk persegi panjang panjang tetapi kedua desain kurang populer.

Silakan berkonsultasi dengan Royal Technology untuk permintaan dan aplikasi Anda. Tim kami merasa terhormat untuk melayani Anda dengan semangat dan teknik kami.

Pub waktu : 2018-08-10 15:48:12 >> daftar berita
Rincian kontak
SHANGHAI ROYAL TECHENOLOGY INC.

Tel: 86-21-37635838

Faks: 86-21-67740022

Mengirimkan permintaan Anda secara langsung kepada kami (0 / 3000)