Model mesin PVD: RTSP1215-MF dirancang dan dikembangkan untuk deposit lapisan emas TiN pada papan sirkuit Tembaga. TiN film tipis yang dihasilkan di lingkungan vakum tinggi, yang sangat meningkatkan keseragaman dan kemurnian.

Papan Sirkuit Tembaga TiN PVD Coating Fitur desain mesin:

1. Ruang 8-sisi dengan flensa pemasangan dengan ukuran yang sama, yang dapat merakit dan menukar sumber ion dan katoda Sputtering atau katoda Arc secara fleksibel berdasarkan permintaan proses pelapisan.

2. Desain kompak yang hanya menempati 20sqm;

3. Sumber ion untuk perawatan pra-perawatan pembersih plasma dan pengendapan dibantu ion Ion untuk meningkatkan adhesi film.

4. Paket kecepatan pemompaan yang tinggi dan konfigurasi yang stabil, pompa molekuler magnetis dapat dipasang ke segala arah.

Papan Sirkuit Tembaga TiN PVD Coating Machine Specifications

Kinerja

1. Tekanan Vacuum Ultimate: lebih baik dari 5,0 × 10 ^{- 6} Torr.

2. Tekanan Vacuum Operasi: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr.

3. Waktu Pumpingdown: dari 1 atm sampai 1.0 × 10 ^{- 4} Torr≤ 3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Metalizing material (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr dll.

5. Operating Model: Full Automatically / Semi-Auto / Manual

Struktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem lengkap yang tercantum di bawah ini:

1. Kamar Vakum

2. Rouhging Vacuum Pumping System (Backing Pump Package)

3. Sistem Vacuum Pumping Tinggi (Magnetic Suspension Molecular Pump)

4. Sistem Pengendalian dan Pengoperasian Listrik

5. Sistem Fasilitas Auxiliarry (Sub Sistem)

6. Sistem Deposisi

Semprotan Pelapis Tembaga Sinar TiN

Silahkan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan solusi pelapisan total.