Fitur Peralatan Pelapisan PVD Keramik:
1. Ruang vakum vertikal satu pintu terbuka, 304 stainless steel manufaktur, ruang vakum diameter internal dari 1400mm-Φ2000mm;
2. Sistem vakum oleh pompa baling-baling Rotary, pompa Roots dan Pompa Difusi Minyak atau Konstitusi Pompa Molekuler;
3. Sistem pelapisan menggunakan 1-2 magnet frekuensi menengah untuk mengontrol sumber daya sputtering, memiliki 1-2 pasang magnet tidak seimbang untuk mengontrol target, dan memiliki 14-40 sumber busur.
4. Sumber daya bias pulsa efisiensi tinggi;
5. Sistem gasifikasi menggunakan meter aliran massa gas produksi dalam negeri atau impor, meteran pengatur jumlah aliran gas (demonstrasi);
6. Rangkaian listrik pembentukan sistem yang dikendalikan secara elektrik kelebihan beban, memotong pasokan air, mematikan perangkat alarm akustik-optik;
7. Sistem kontrol (layar sentuh + PLC), parameter detail tampilan waktu nyata, kontrol otomatis seluruh proses produksi, dan parameter teknologi memori otomatis.
Peralatan Pelapisan PVD - Spesifikasi RTAC1618
MODEL | RTAC1618 | ||
BAHAN | Baja tahan karat (S304) | ||
UKURAN RUANG | 1600*1800mm (H) | ||
SISTEM POMPA | Pompa Vakum Rotary Piston (Mekanis) | ||
Pompa Vakum Rotary Vane (Memegang) | |||
Pompa Vakum Akar | |||
Pompa Difusi | |||
TEKNOLOGI | Pelapisan Ion (Sumber multi-busur) | ||
TARGET KHUSUS | Chrome, Titanium, Zirkonium, TiAl | ||
GAS | Pengukur Aliran Massa Gas ( Ar, N2,) Argon, Nitrogen | ||
KONTROL | PLC (Pengontrol Logika yang Dapat Diprogram) | ||
SISTEM KEAMANAN | Banyak kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan | ||
PENDINGINAN | Daur Ulang Air Pendingin | ||
PEMANASAN | Pemanas, hingga 300℃ | ||
DAYA MAKS. | 150KW (Perkiraan) | ||
KONSUMSI DAYA RATA-RATA | 70KW (Perkiraan) |
Peralatan Pelapisan PVD Keramikmembutuhkan teknologi pelapisan ion untuk menguapkan logam padat seperti Titanium, Chrome dengan sumber busur katodik dan memadatkan logam terionisasi pada permukaan produk untuk menghasilkan film tipis Nano di lingkungan vakum tinggi.Dengan gas reaktif seperti : Nitrogen menghasilkan berbagai warna.
Ukuran mesin khusus lainnya tersedia berdasarkan dimensi produk dan permintaan kapasitas yang ditentukan.
Model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
Ukuran ruang dalam | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
Jenis catu daya: | Catu daya busur, catu daya filamen, catu daya bias pulsa | ||||||||||
Struktur ruang vakum | Struktur pintu depan vertikal, sistem pembuangan udara belakang, dan ruang pendingin air dua lapis | ||||||||||
Bahan ruang vakum | baja tahan karat 304/316L | ||||||||||
Vakum pamungkas | 6.0x10-4Pa (bongkar muat, bersih, ruang pengering) | ||||||||||
Kecepatan Pemompaan Vakum | dari atmosfer hingga 8.0*10-3Pa 15 menit | ||||||||||
Sistem pompa vakum | Pompa difusi atau pompa molekuler + Pompa akar + Pompa mekanis + Pompa penahan (model tertentu dapat dipilih sesuai dengan kebutuhan pelanggan) | ||||||||||
Sumber busur | 6 unit atau 8 unit | 8 unit atau 10 unit | 10 unit atau 12 unit | 14 unit atau 16 unit | 16 unit atau 18 unit | ||||||
Catu daya bias | 20KW/set | 20KW/set | 30KW/set | 40KW/set | 50KW/set | ||||||
Model Mengemudi | Revolusi dan rotasi planet, pengaturan kecepatan frekuensi variabel (dapat dikontrol dan disesuaikan) | ||||||||||
Sistem pemanas | Dapat dikontrol dan disesuaikan dari suhu kamar hingga 450 °C (Kontrol suhu PID) | ||||||||||
MFC | Kontrol aliran gas dan sistem tampilan 3-jalur atau 4-jalur, sistem gas otomatis selektif | ||||||||||
Sistem pendingin | Mode pendinginan sirkulasi air, menara air pendingin atau pendingin air industri atau sistem pendingin dalam.(Disediakan oleh pelanggan) | ||||||||||
Mode kontrol | Mode integrasi manual/otomatis, operasi layar sentuh, PLC atau kontrol komputer | ||||||||||
Kekuatan total | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
Alarm dan perlindungan | Alarm kekurangan air, arus berlebih dan tegangan lebih, sirkuit terbuka dan kondisi abnormal lainnya dari pompa, target, dan sebagainya, serta lakukan tindakan perlindungan yang relevan dan fungsi interlock listrik | ||||||||||
Area peralatan | W2.5m * L3.5m | W3m * L4m | W4m * L5m | W4.5m * L6m | W5m * L7m | ||||||
Parameter teknis lainnya | Tekanan Air 0.2MPa, Suhu Air 25 °C, Tekanan Udara 0.5-0.8MPa | ||||||||||
Catatan | Konfigurasi khusus peralatan pelapis dapat dirancang sesuai dengan persyaratan proses produk pelapis |
File keramik Sampel Pelapisan PVD
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.