Aplikasi:
Mesin RTSP1213 adalah sistem sputtering model batch, dapat menyimpan berbagai pelapis keras, pelapis lunak, film senyawa dan film pelumas padat pada substrat bahan logam dan non-logam. Diterapkan untuk industri kendaraan Sel Bahan Bakar Hidrogen, produk fotonik, aerospace dan industri energi baru lainnya.
Properti:
Untuk meningkatkan konduktivitas permukaan;
Ketahanan korosi yang tinggi;
Ketahanan aus yang tinggi;
Kekerasan tinggi
Film komposisi hidrofobik dan film fungsional lainnya
Tersedia untuk pelapis senyawa: film logam dan non-logam.
Ketebalan film berkisar dari 100nm hingga 12μm, toleransi ketebalan ± 5%
Adhesi yang kuat.
Perawatan pengerasan permukaan bagian temper yang rendah.
Tipe:
Orientasi vertikal, struktur polyhedron, 2-pintu (depan dan belakang)
Fitur:
Spesifikasi teknis
1. Tekanan Vakum Tertinggi: lebih baik dari 8.0 * 10 -5 Pa;
3. Memompa Waktu: dari atm ke 1,0 × 10 - 3 Pa≤15 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)
4. Sumber pengendapan: katoda sputtering seimbang / tidak seimbang
5. Model Pengoperasian: Penuh Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual
6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks. 450 ℃,
7. Pembersihan Plasma dan pengendapan Plasma: Sumber Ion Anoda Linier
8. Magnetic Closed - Loop diajukan. (Ketidakseimbangan / keseimbangan katoda)
9. Catu daya Bias untuk pemakaian cahaya.
Mesin pelapis vakum berisi sistem lengkap kunci yang tercantum di bawah ini:
1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter Dalam 1200mm
Tinggi Batin: 1300mm
1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304
Pintu dan flensa SUS304
Struktur penguatan ruang: baja ringan SS41, dengan perawatan permukaan akhir dicat.
Ruang sasis baja ringan SS41 dengan perawatan permukaan akhir dicat.
1.3 Sputtering Shield: SUS304
1.4 Jendela Lihat: di pintu kamar - 4 set (2 di setiap pintu)
1.5 Vacuum Chamber Venting Valve (termasuk peredam)
1.6 Pintu: bahan SUS304
2. Sistem Pompa Vakum Ghing rhing :
Oli rotary baling baling pompa + pompa akar + Pompa Holding (Leybold)
3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi :
Pompa Molekul Suspensi Magnetik (Leybold)
4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi - PLC + Layar Sentuh
4.1 Sirkuit utama: Sakelar pemutus sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri
4.2 Power Supply Sputtering + Power supply sumber Ion + Power Supply Bias (Energi Lanjut)
4.3 Sistem kontrol pengendapan endapan
4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, shutdown otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis
4.5 Sistem Pengukuran
Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Pengukur pengukur + Pengukur vakum lengkap - merek Eropa
Alat pengukur suhu: Termokopel
MFC: Mass Flow Controller (4 cara), mode tampilan digital - merek Eropa
4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, Aliran air pendingin, Mis-operation
4.7 Indikator Beban Daya: Indikator tegangan dan indikator arus beban
5 . Sistem pengendapan
5.1 Sumber pengendapan: Katup sputtering, sumber Ion - merek Eropa
5.2 Bahan pengendapan: Target karbon
6. Sub-Sistem
6.1 Sistem Kontrol Katup Udara Terkompresi
6.2 Sistem Air Pendingin: Sistem pipa aliran air dan sakelar sakelar
7. Lingkungan Kerja
Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2
Air Pendingin: Suhu Air-Dalam: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / mnt,
Tekanan Air-Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,
Power: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, konsumsi daya rata-rata: 40KW
Area Instalasi: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm
Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis
Mengapa kita
Mesin produksi canggih (milling, welding, cutting, pengujian kebocoran vakum) dikombinasikan dengan prosedur produksi standar dan pengujian ketat memungkinkan Royal Technology menghasilkan sistem pelapisan berkualitas tinggi, andal, dan berbiaya rendah.
Kualitas, layanan, dan pengiriman tepat waktu adalah prinsip inti dari bisnis teknologi Royal. Strategi outsourcing terbuka komponen sederhana untuk manufaktur profesional memungkinkan kita untuk memusatkan perhatian pada bagian dan komponen utama R&D, manufaktur.
Kebijakan kontrol kualitas yang ketat dan pemilihan ketat pemasok yang berkualitas memastikan pelanggan Royal Technology menerima peralatan mutakhir dan berkualitas tinggi dengan biaya paling terjangkau.
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.