Sistem Deposisi Sputter Fotonik Untuk Film Komposisi Hidrofobik / Deposisi Film Konduktif Tinggi PVD
1 Set
MOQ
negotiable
harga
Photonics Sputter Deposition System For Hydrophobic Composition Film / PVD High Conductive Film Deposition
fitur Galeri Deskripsi Produk Quote request suatu
fitur
Informasi dasar
Tempat asal: BUATAN CHINA
Nama merek: ROYAL
Sertifikasi: CE certification
Nomor model: RTSP1213
Cahaya Tinggi:

magnetron sputtering machine

,

vacuum deposition equipment

Syarat-syarat pembayaran & pengiriman
Kemasan rincian: Standar ekspor, untuk dikemas dalam case / karton baru, cocok untuk transportasi jarak jauh laut / u
Waktu pengiriman: 16 minggu
Syarat-syarat pembayaran: L / C, D / A, D / P, T / T
Menyediakan kemampuan: 6 set per bulan
Spesifikasi
Sumber Deposisi: Saldo / Tidak Tertimbang Magnetik Ditempatkan
Aplikasi: Otomotif, semikonduktor, Lapisan SiC, deposisi film DLC,
Ketebalan film: Berkisar dari 100 nm hingga 12μm, toleransi ketebalan ± 5%
Lokasi Pabrik: kota shanghai, cina
Lokasi Pabrik: kota shanghai, cina
Layanan di Seluruh Dunia: Poland - Europe; Polandia - Eropa; Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India
Layanan Pelatihan: Pengoperasian mesin, perawatan, proses pelapisan Resep, program
Jaminan: Garansi terbatas 1 tahun gratis, seumur hidup untuk mesin
OEM & ODM: tersedia, kami mendukung desain dan fabrikasi yang dibuat khusus
Deskripsi Produk
Sistem Deposisi Sputter Fotonik Untuk Film Komposisi Hidrofobik Dan Film Fungsional Lainnya

Aplikasi:

Mesin RTSP1213 adalah sistem sputtering model batch, dapat menyimpan berbagai pelapis keras, pelapis lunak, film senyawa dan film pelumas padat pada substrat bahan logam dan non-logam. Diterapkan untuk industri kendaraan Sel Bahan Bakar Hidrogen, produk fotonik, aerospace dan industri energi baru lainnya.

Properti:

Untuk meningkatkan konduktivitas permukaan;

Ketahanan korosi yang tinggi;

Ketahanan aus yang tinggi;

Kekerasan tinggi

Film komposisi hidrofobik dan film fungsional lainnya

Tersedia untuk pelapis senyawa: film logam dan non-logam.

Ketebalan film berkisar dari 100nm hingga 12μm, toleransi ketebalan ± 5%
Adhesi yang kuat.

Perawatan pengerasan permukaan bagian temper yang rendah.

Tipe:

Orientasi vertikal, struktur polyhedron, 2-pintu (depan dan belakang)

Fitur:

  • Sistem ramah lingkungan, tidak ada air limbah industri, polusi udara dan kebisingan;
  • Pengoperasian yang mudah: Layar sentuh + Kontrol PLC dan program perangkat lunak yang unik untuk operasi satu sentuhan, lebih dari 80% masalah penembakan alarm.
  • Hingga 10 pemrosesan resep masuk dan cadangan; pengulangan dan keragaman yang tinggi.
  • Desain khusus sistem Carousel untuk keseragaman pengendapan film yang tinggi.
  • Produktivitas tinggi dan kualitas tinggi
  • Sistem stabil dan dapat diandalkan, berjalan 365 hari * 24 jam (waktu pemeliharaan dan perbaikan)
  • Sistem pemompaan efisiensi: jalur pipa vakum yang lebih pendek untuk kecepatan perpipaan maksimum dengan pompa merek Eropa yang terkenal
  • Desain yang ringkas menempati ruang pemasangan minimum.

Spesifikasi teknis

  • Performa

1. Tekanan Vakum Tertinggi: lebih baik dari 8.0 * 10 -5 Pa;

  • Tekanan Vakum Dasar: 3.0 * 10 - 4 Pa

3. Memompa Waktu: dari atm ke 1,0 × 10 - 3 Pa≤15 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Sumber pengendapan: katoda sputtering seimbang / tidak seimbang

5. Model Pengoperasian: Penuh Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual

6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks. 450 ℃,

7. Pembersihan Plasma dan pengendapan Plasma: Sumber Ion Anoda Linier

8. Magnetic Closed - Loop diajukan. (Ketidakseimbangan / keseimbangan katoda)

9. Catu daya Bias untuk pemakaian cahaya.

  • Struktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem lengkap kunci yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Diameter Dalam 1200mm

Tinggi Batin: 1300mm

1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304

Pintu dan flensa SUS304

Struktur penguatan ruang: baja ringan SS41, dengan perawatan permukaan akhir dicat.

Ruang sasis baja ringan SS41 dengan perawatan permukaan akhir dicat.

1.3 Sputtering Shield: SUS304

1.4 Jendela Lihat: di pintu kamar - 4 set (2 di setiap pintu)

1.5 Vacuum Chamber Venting Valve (termasuk peredam)

1.6 Pintu: bahan SUS304

2. Sistem Pompa Vakum Ghing rhing :


Oli rotary baling baling pompa + pompa akar + Pompa Holding (Leybold)

3. Sistem Pemompaan Vakum Tinggi :

Pompa Molekul Suspensi Magnetik (Leybold)

  • Gerbang katup - 2 set

4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi - PLC + Layar Sentuh

4.1 Sirkuit utama: Sakelar pemutus sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri

4.2 Power Supply Sputtering + Power supply sumber Ion + Power Supply Bias (Energi Lanjut)

4.3 Sistem kontrol pengendapan endapan

4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, shutdown otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis

4.5 Sistem Pengukuran

Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Pengukur pengukur + Pengukur vakum lengkap - merek Eropa

Alat pengukur suhu: Termokopel
MFC: Mass Flow Controller (4 cara), mode tampilan digital - merek Eropa

4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, Aliran air pendingin, Mis-operation

4.7 Indikator Beban Daya: Indikator tegangan dan indikator arus beban

5 . Sistem pengendapan

5.1 Sumber pengendapan: Katup sputtering, sumber Ion - merek Eropa

5.2 Bahan pengendapan: Target karbon

6. Sub-Sistem

6.1 Sistem Kontrol Katup Udara Terkompresi

6.2 Sistem Air Pendingin: Sistem pipa aliran air dan sakelar sakelar

7. Lingkungan Kerja

Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2

Air Pendingin: Suhu Air-Dalam: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / mnt,
Tekanan Air-Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,

Power: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, konsumsi daya rata-rata: 40KW

Area Instalasi: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis

Mengapa kita

  1. Mesin produksi canggih (milling, welding, cutting, pengujian kebocoran vakum) dikombinasikan dengan prosedur produksi standar dan pengujian ketat memungkinkan Royal Technology menghasilkan sistem pelapisan berkualitas tinggi, andal, dan berbiaya rendah.

  2. Kualitas, layanan, dan pengiriman tepat waktu adalah prinsip inti dari bisnis teknologi Royal. Strategi outsourcing terbuka komponen sederhana untuk manufaktur profesional memungkinkan kita untuk memusatkan perhatian pada bagian dan komponen utama R&D, manufaktur.

  3. Kebijakan kontrol kualitas yang ketat dan pemilihan ketat pemasok yang berkualitas memastikan pelanggan Royal Technology menerima peralatan mutakhir dan berkualitas tinggi dengan biaya paling terjangkau.

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.

Hubungi kami
Kontak Person : ZHOU XIN
Faks : 86-21-67740022
Karakter yang tersisa(20/3000)