Fitur Peralatan Pelapis PVD Keramik:
1. Ruang vakum vertikal satu pintu terbuka, 304 stainless steel memproduksi, ruang vakum diameter internal dari φ1400mm-Φ2000mm;
2. Sistem vakum dengan pompa baling-baling putar, pompa Roots dan Pompa Difusi Minyak atau Konstitusi Pompa Molekuler;
3. Sistem pelapisan menggunakan 1-2 magnet frekuensi menengah untuk mengontrol sumber daya sputtering, memiliki 1-2 pasang magnet tidak seimbang untuk mengontrol target, dan memiliki 14-40 sumber busur.
4. Efisiensi tinggi sumber daya bias pulsa;
5. Sistem gasifikasi menggunakan pengukur aliran massa gas yang diproduksi di dalam negeri atau impor, pengukur kontrol jumlah aliran gas (demonstrasi);
6. Pembentukan sistem yang dikendalikan secara elektrik sirkuit listrik kelebihan beban, memutus pasokan air, mematikan perangkat alarm akustik-optik;
7. Sistem kontrol (layar sentuh + PLC), parameter detail tampilan waktu nyata, kontrol seluruh proses produksi otomatis, dan parameter teknologi memori otomatis.
Peralatan Pelapis PVD - Spesifikasi RTAC1618
MODEL | RTAC1618 | ||
BAHAN | Baja Tahan Karat (S304) | ||
UKURAN CHAMBER | Φ1600 * 1800mm (H) | ||
SISTEM POMPA | Pompa Vakum Piston Putar (Mekanis) | ||
Pompa Vakum Rotary Vane (Holding) | |||
Pompa Vakum Roots | |||
Pompa Difusi | |||
TEKNOLOGI | Pelapisan Ion (Sumber multi-busur) | ||
SASARAN KHUSUS | Chrome, Titanium, Zirkonium, TiAl | ||
GAS | Pengukur Aliran Massa Gas (Ar, N2,) Argon, Nitrogen | ||
KONTROL | PLC (Pengontrol Logika Terprogram) | ||
SISTEM KEAMANAN | Banyak kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan | ||
PENDINGINAN | Mendaur Ulang Air Pendingin | ||
PEMANASAN | Pemanas, hingga 300 ℃ | ||
DAYA MAKS. | 150KW (Perkiraan) | ||
KONSUMSI DAYA RATA-RATA | 70KW (Perkiraan) |
Peralatan Pelapis PVD Keramik menggunakan teknologi pelapisan ion untuk menguapkan logam solida seperti Titanium, Chrome dengan sumber busur katodik dan memadatkan logam terionisasi pada permukaan produk untuk menghasilkan lapisan tipis Nano dalam lingkungan vakum tinggi.Dengan gas reaktif seperti: Nitrogen menghasilkan berbagai warna.
Ukuran mesin khusus lainnya tersedia berdasarkan dimensi produk tertentu dan permintaan kapasitas.
Model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
Kamar ukuran dalam | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
Jenis catu daya | Catu daya busur, catu daya filamen, catu daya bias pulsa | ||||||||||
Struktur ruang vakum | Struktur pintu depan vertikal, sistem pembuangan udara belakang, dan ruang pendingin air lapis ganda | ||||||||||
Bahan ruang vakum | baja tahan karat 304 / 316L | ||||||||||
Vakum tertinggi | 6.0x10-4Pa (bongkar, bersih, ruang pengering) | ||||||||||
Kecepatan Pemompaan Vakum | dari atmosfer menjadi 8.0 * 10-3Pa ≤15 menit | ||||||||||
Sistem pompa vakum | Pompa difusi atau pompa molekuler + Pompa akar + Pompa mekanis + Pompa induk (model spesifik dapat dipilih sesuai dengan kebutuhan pelanggan) | ||||||||||
Sumber busur | 6 unit atau 8 unit | 8 unit atau 10 unit | 10 unit atau 12 unit | 14 unit atau 16 unit | 16 unit atau 18 unit | ||||||
Catu daya bias | 20KW / set | 20KW / set | 30KW / set | 40KW / set | 50KW / set | ||||||
Model Mengemudi | Revolusi dan rotasi planet, pengaturan kecepatan frekuensi variabel (dapat dikontrol dan disesuaikan) | ||||||||||
Sistem pemanas | Dapat dikontrol dan disesuaikan dari suhu kamar hingga 450 ° C (Kontrol suhu PID) | ||||||||||
MFC | Sistem tampilan dan kontrol aliran gas proses 3 jalur atau 4 jalur, sistem gas otomatis selektif | ||||||||||
Sistem pendingin | Mode pendinginan sirkulasi air, menara air pendingin atau pendingin air industri atau sistem pendingin dalam.(Disediakan oleh pelanggan) | ||||||||||
Mode kontrol | Mode integrasi manual / otomatis, operasi layar sentuh, PLC atau kontrol komputer | ||||||||||
Tenaga total | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
Alarm dan perlindungan | Alarm kekurangan air, arus berlebih dan tegangan berlebih, sirkuit terbuka dan kondisi pompa yang tidak normal lainnya, target dan sebagainya dan lakukan tindakan perlindungan yang relevan dan fungsi interlock listrik | ||||||||||
Area peralatan | W2.5m * L3.5m | W3m * L4m | W4m * L5m | W4.5m * L6m | W5m * L7m | ||||||
Parameter teknis lainnya | Tekanan Air ≥0.2MPa, Suhu Air ≤25 ° C, Tekanan Udara 0.5-0.8MPa | ||||||||||
Catatan | Konfigurasi khusus peralatan pelapis dapat dirancang sesuai dengan persyaratan proses produk pelapis |
File keramik Sampel Pelapisan PVD
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.