Mesin Pelapisan Vakum PVD / Mesin Pelapisan Magnetron Sputtering, mesin pelapisan pvd metalurgi
Mesin ini cocok untuk sistem pelapisan vakum produksi industri . Ini melengkapi sumber penguapan busur ion polos ukuran besar dan dapat mengendapkan film logam keras kinerja tinggi dengan teknologi penguapan busur, seperti TiN, TiCN, AlTiN dan semua jenis film khusus lainnya sesuai dengan kebutuhan pelanggan.
Lapisan DLC (karbon seperti intan) adalah kombinasi intan (SP3) dan grafit (SP2). Sifat fisik dan kimia dari DLC adalah menengah dari berlian dan grafit
Spesifikasi
MODEL | RTAS1000 | |||||||
TEKNOLOGI | Pelapisan busur + magnetron sputtering + sumber ion | |||||||
BAHAN CHAMBER | Baja Tahan Karat (S304) | |||||||
UKURAN CHAMBER | Φ1000 * 1000mm (H) | |||||||
JENIS CHAMBER | Ruang octahedron biasa, 2 pintu | |||||||
ROTASI RACK & SISTEM JIG | 6 (8) satelit, Maks. berat: 400kgs | |||||||
SUPPLIES DAYA | Jumlah Sputtering: 2 * 24 KW Bias dari Catu Daya: 1 * 24W Catu daya untuk opsi Sumber Ion Catu daya 2 set, catu daya AE untuk opsi | |||||||
BAHAN DEPOSISI | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
SUMBER DEPOSISI | 2 pasang (4 buah) Katup Sputtering + 6 busur Area Pelapisan: Dia800mm * H550mm; | |||||||
KONTROL | PLC (Pengontrol Logika yang Dapat Diprogram) + Layar Sentuh (model operasi manual + auto + semi-otomatis) | |||||||
SISTEM POMPA | Pompa Rotary Vane: SV300B - 1 set (Leybold) | |||||||
Roots Pump: WAU1001 - 1 set (Leybold) | ||||||||
Pompa Induk: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Pompa Molekul Suspensi Rotor Magnet: MAG2200 - 2 set (Leybold) | ||||||||
PENGENDALIAN ARUS MASSA GAS | 3 saluran, Buatan Amerika (merek MKS) | |||||||
VACUUM GAUGE | Model: ZDF-X-LE, Buatan Cina | |||||||
Sumber Ion Linier | 2 buah Pra-perawatan, pembersihan plasma + deposisi berbantuan | |||||||
SISTEM KESELAMATAN | Sejumlah kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan | |||||||
PEMANASAN | Pemanas: 20KW. Maks. temp .: 400 ℃ | |||||||
PENDINGINAN | Industrial Chiller (Air Dingin) | |||||||
POWER MAX. | 100KW (Perkiraan) | |||||||
KONSUMSI DAYA RATA-RATA | 45 KW (Perkiraan) | |||||||
BERAT KOTOR | T (Kira-kira) | |||||||
CETAK KAKI | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
LISTRIK TENAGA LISTRIK | AC 380V / 3 fase / 50 HZ |