R & D Multiple - Fungsi Peralatan Lapisan Vakum MF / DC Katoda Sputtering

R & D Beberapa-Fungsi Lapisan Vakum Peralatan

Kata kunci: PVD Hard Coatings, proses PECVD, film DLC, Diamond Like Carbon Film, Sputtering Film Optik, Gencoa Magnetron Sputtering Katoda, Ion Source, PA PVD

Fitur Desain RTAC950-SP:

• Fleksibilitas: sumber busur dan menggerutu, perangkat sumber ion linear pemasangan flensa distandarisasi untuk pertukaran fleksibel
• Keserbagunaan: tersedia untuk berbagai deposit logam dasar dan paduan, pelapis optik dan pelapis keras, pelapis lembut. Senyawa film dan film pelumas padat pada substrat bahan logam dan non-logam
• Desain lurus ke depan: Struktur 2 pintu, bukaan depan dan belakang untuk memudahkan perawatan.

Spesifikasi teknis

• Kinerja

1. Tekanan Vakum Ultimate: lebih baik dari 8,0 * 10 ^{- 4} Pa;

• Tekanan Vakum dasar: 3,0 * 10 ^{- 2} Pa

3. Memompa down Time: dari atm ke 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 menit (suhu ruangan, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Sumber deposisi: katoda gencoa magnetron sputtering, katoda busur dikemudikan, sumber Ion

5. Model Operasi: Penuh Secara Otomatis / Semi-Otomatis / Secara Manual

6. Pemanasan: dari suhu kamar hingga maks. 500 ℃,

9. Sumber ion untuk proses PECVD dan PA PVD.

• Struktur

Mesin pelapisan vakum berisi sistem yang dilengkapi kunci yang tercantum di bawah ini:

1. Ruang Vakum
1.1 Ukuran: Kedalaman batin 950mm

Ketinggian Batin: 1350mm

1.2 Bahan: Ruang Vakum SUS304

Pintu dan flensa SUS304

Chamber memperkuat struktur: baja ringan SS41, dengan finishing permukaan dicat.

Chamber chassis SS41 baja ringan dengan finishing permukaan yang dicat.

1.3 Chamber Shield: SUS304

1.4 Lihat Jendela: pada pintu ruang -2

1,5 Vakum Chamber Venting Valve (termasuk peredam suara)

1.6 Pintu: 2 set, depan dan belakang, bahan SUS304

2. Sistem Pemompaan Vakum Kasar:
Pompa vakum baling-baling putar minyak + Pompa Holding

3. Sistem Pompa Vakum Tinggi:

Turbo Molecular Pump - 2 set

4. Kontrol Listrik dan Sistem Operasi- PLC + Layar Sentuh Sistem Operasi:

Pemasok:

PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERIES

Komponen Elektronik: SCHNEIDER, OMRON.

Sistem Perlindungan Keselamatan: Banyak pengaman interlock untuk melindungi operator dan peralatan (air, gas saat ini, suhu dll.)

Sistem Proses Pelapisan : Otomatisasi Proses & Kontrol. Secara otomatis disimpan dalam memori selama 3 bulan. Menampilkan data resep lapisan: operasi target arus / tegangan, Arus Massal, tekanan Vakum, suhu, waktu pelapisan disimpan untuk analisis untuk meningkatkan kualitas pelapis.

4.1 Sirkuit utama: Saklar pemutus sekring-sekering, sakelar elektromagnetik, C / T dalam tipe seri

4.2 Power Supply: daya sputtering MF + daya DC Arc + Bias Power Supply

4.3 Sistem pengendalian deposisi

4.4 Sistem Operasi: Layar Sentuh + PLC, kontrol resep dan pencatatan data, Penonaktifan otomatis, evakuasi otomatis, pelapisan otomatis

4.5 Sistem Pengukuran

Tekanan Vakum: Pengukur Vakum: Pirani + Penning gauge + Full range vacuum gauge - Merek Eropa

Alat pengukur suhu: Thermocouple
MFC: Pengontrol Arus Massal (4 cara),

4.6 Sistem Alarm: Tekanan udara terkompresi, aliran air pendingin, Salah operasi

4.7 Indikator Daya Beban: Indikator tegangan dan indikator arus beban

5 . Sistem Deposisi

5.1 Sumber Deposisi: Katoda Sputtering + Sumber Arc + Sumber Ion

Materi 5.2 Deposisi: ITO, Titanium, Chrome, Aluminium, Stainless Steel, TiAl dll.

6. Sub-Sistem

6.1 Sistem Kontrol Katup Kompresi Udara

6.2 Sistem Air Pendingin: Pipa aliran air dan sistem katup sakelar

7. Lingkungan Kerja

Udara Terkompresi: 5 ~ 8kg / cm2

Air Pendingin: Suhu Air-In: 20 ~ 25 ℃, 200 Liter / menit,
Tekanan Air Dalam: 2 ~ 3 kg / cm2,

Power: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, konsumsi daya rata-rata: 60KW

Area Instalasi: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

Knalpot: Ventilasi untuk pompa mekanis

Aplikasi

Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi total pelapisan.