Keramik LED Chips Sputtering Coating Plant / Ag, Cu Deposisi pada Al2O3, AlN Circuit Boards

Kinerja

1. Tekanan Vacuum Ultimate: lebih baik dari 5,0 × 10 ^{- 6} Torr.

2. Tekanan Vacuum Operasi: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr.

3. Waktu Pumpingdown: dari 1 atm sampai 1.0 × 10 ^{- 4} Torr≤ 3 menit (suhu kamar, ruang kering, bersih dan kosong)

4. Metalizing material (sputtering + Arc evaporation): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr dll.

5. Operating Model: Full Automatically / Semi-Auto / Manual

Struktur

Mesin pelapis vakum berisi sistem lengkap yang tercantum di bawah ini:

1. Kamar Vakum

2. Rouhging Vacuum Pumping System (Backing Pump Package)

3. Sistem Vacuum Pumping Tinggi (Magnetic Suspension Molecular Pump)

4. Sistem Pengendalian dan Pengoperasian Listrik

5. Sistem Fasilitas Auxiliarry (Sub Sistem)

6. Sistem Deposisi

Tembaga Sputtering Coating Machine Fitur Utama

1. Dilengkapi dengan 8 steer arc cathodes dan DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, unit sumber Ion.

Lapisan multilayer dan co-deposition tersedia

3. Sumber ion untuk perawatan pra-perawatan pembersih plasma dan pengendapan dibantu ion Ion untuk meningkatkan adhesi film.

4. Aliran keramik / Al2O3 / AlN memanaskan unit;

5. Sistem rotasi dan revolusi substrat, untuk pelapis 1 sisi dan lapisan 2 sisi.

Pabrik Pelapis Sputtering Cooper Magnetron pada Substrat Pelapisan Keramik

Proses DPC - Direct Plating Copper adalah teknologi pelapisan lanjutan yang diterapkan dengan industri LED / semikonduktor / elektronik. Salah satu aplikasi yang khas adalah Ceramic Radiating Substrate.

Deposisi film konduktif DC pada Al2O3, AlN substrat dengan teknologi sputtering vakum PVD, dibandingkan dengan metode pembuatan tradisional: DBC LTCC HTCC, biaya produksi yang jauh lebih rendah adalah fiturnya yang tinggi.

Tim teknologi Royal meyakinkan pelanggan kami untuk mengembangkan proses DPC dengan teknologi sputtering PVD.

Mesin RTAC1215-SP dirancang khusus untuk lapisan film konduktif Tembaga pada keripik Keramik, papan sirkuit keramik.

Silahkan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan solusi pelapisan total.