Spesifikasi Sumber Sputtering Magnetron
Fitur Utama
1. Desain medan magnet elemen hingga
2. Magnet diisolasi dari air pendingin
3. Kompatibel dengan DC / MF dan RF Powers
4. Pemanfaatan target yang tinggi
5. Sesuaikan arah mendepak
6. Kerapatan daya tinggi dan keseragaman yang sangat baik
7. Pilihan mode yang seimbang dan tidak seimbang
Kekuatan Sputtering Maksimum | |
Target pendinginan tidak langsung | > 20 Watts / cm 2 (DC) |
> 7 Watts / cm 2 (RF) | |
Discharge Tegangan / | 100 sampai 1500 volt |
Discharge Current | > 0,05 amp / cm 2 |
Tekanan operasi | 0,05 sampai 5 Pa |
Pemanfaatan target | > 35% |
Target | |
Bentuk | Rectangular / planar |
Ketebalan | 6mm ~ 16mm |
Lebar | 125mm |
Instalasi | Intern eksternal |
Silahkan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan solusi pelapisan total