Tantalum PVD Sputtering Coating Machine, film Tantalum diendapkan oleh DC Magnetron Sputtering, PVD Tantalum Plating
Tantalum paling banyak digunakan dalam industri elektronik dan sebagai lapisan pelindung di banyak industri karena ketahanannya yang baik terhadap erosi.
Film tantalum tergagap banyak digunakan di:
1. Industri mikroelektronika sebagai film dapat tergagap secara reaktif dan dengan demikian resistivitas dan koefisien resistansi suhu dapat dikontrol;
2. Instrumen medis seperti implan tubuh karena sifat biokompatibilitasnya yang tinggi;
3. Pelapisan pada bagian yang tahan korosi, seperti termowell, badan katup, dan pengencang;
Tantalum tergagap juga dapat digunakan sebagai penghalang ketahanan korosi yang efektif jika pelapisan terus menerus, cacat dan melekat pada substrat dimaksudkan untuk melindungi.
Keuntungan Teknis RTAS1000
1. Sistem desain terintegrasi Plug-in untuk instalasi cepat
2. Siemens PLC, CPU;dengan perangkat keras operasi & kontrol PC Industri
3. Tersedia untuk pemantauan dan diagnosis jarak jauh.
4. Fleksibel, siap untuk ditingkatkan
5. Beberapa katoda untuk kecepatan deposisi yang cepat
Lebih banyak manfaat dari mesin:
Desain Kuat, Kualitas Stabil, Siklus Cepat, Waktu Siklus Cepat, Kecepatan deposisi tinggi
Konfigurasi Utama | |
MODEL | RTAS1000 |
TEKNOLOGI | Penyemprotan magnetron DC + pelapisan busur katodik |
BAHAN RUANG | Baja tahan karat (S304) |
UKURAN RUANG | 1000*1000mm (H) |
JENIS RUANG | Bentuk D, ruang silinder |
RAK ROTASI & SISTEM JIG | Sistem penggerak satelit atau sistem penggerak pusat |
catu daya | Catu Daya DC Sputtering: 2~4 set Catu daya Bias: 1 set Catu daya Arc: 11 set |
BAHAN DEPOSISI | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu dll. |
SUMBER DEPOSISI |
Katoda Sputtering Planar + katoda busur lingkaran Catatan: sputter DC silinder tersedia |
KONTROL | PLC (Pengontrol Logika yang Dapat Diprogram) + Layar Sentuh (model operasi manual + otomatis + semi-otomatis) |
SISTEM POMPA | Pompa Rotary Vane: SV300B - 1 set (Leybold) |
Roots Pump: WAU1001 - 1 set (Leybold) | |
Memegang Pompa: D60C - 1 set (Leybold) | |
Pompa Molekul Suspensi Magnetik: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
PENGENDALI ALIRAN MASSA GAS | 4 saluran, Buatan China, Bintang Tujuh (seri CS, ) model digital (Ar, N2, O2, C2H2) |
PENGUKUR VAKUM | Model: ZDF-X-LE, Buatan China |
SISTEM KEAMANAN | Banyak kunci pengaman untuk melindungi operator dan peralatan |
PEMANASAN | Pemanas: 20KW.Maks.suhu: 450℃ |
PENDINGINAN | Chiller Industri (Air Dingin) |
DAYA MAKS. | 100KW (Perkiraan) |
KONSUMSI DAYA RATA-RATA | 45 KW (Perkiraan) |
BERAT KOTOR | T (Perkiraan) |
CETAK KAKI | ( L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
LISTRIK LISTRIK | AC 380V/3 fase/50HZ/5 jalur |
Katoda sputtering silinder Katoda sputtering planar
Silakan hubungi kami untuk spesifikasi lebih lanjut, Royal Technology merasa terhormat untuk memberikan Anda solusi pelapisan total.
Unduh brosur, silakan klik di sini:Sistem Deposisi Magnetron Sputtering.pdf
Aplikasi sistem Deposisi Magnetron Sputtering...